المعلمات الأساسية في النقش الجاف

يعد النقش الجاف تقنية رئيسية في عمليات تصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة. يؤثر أداء عملية الحفر الجاف بشكل مباشر على الدقة الهيكلية والأداء التشغيلي لأجهزة أشباه الموصلات. للتحكم بدقة في عملية النقش، يجب إيلاء اهتمام وثيق لمعلمات التقييم الأساسية التالية.

1. احفر الشبكة

يشير معدل النقش إلى سمك المادة المحفورة لكل وحدة زمنية (الوحدات: نانومتر/دقيقة أو ميكرومتر/دقيقة). تؤثر قيمته بشكل مباشر على كفاءة النقش، وسيؤدي معدل النقش المنخفض إلى إطالة دورة الإنتاج. تجدر الإشارة إلى أن معلمات المعدات وخصائص المواد ومنطقة النقش كلها تؤثر على معدل النقش.

2. الانتقائية

انتقائية الركيزة وانتقائية القناع هما نوعان من انتقائية الحفر الجاف. من الناحية المثالية، ينبغي اختيار غاز النقش ذو انتقائية عالية للقناع وانتقائية منخفضة للركيزة، ولكن في الواقع، يجب تحسين الاختيار من خلال النظر في خصائص المواد.

3. التوحيد

التوحيد داخل الرقاقة هو تناسق المعدل في مواقع مختلفة داخل نفس الرقاقة، مما يؤدي إلى انحرافات الأبعاد في أجهزة أشباه الموصلات. في حين يشير توحيد الرقاقة إلى الرقاقة إلى تناسق المعدل بين الرقائق المختلفة، مما قد يسبب تقلبات في دقة الدفعة إلى الدفعة.

4. البعد الحرج

يشير البعد الحرج إلى المعلمات الهندسية للبنى المجهرية مثل عرض الخط وعرض الخندق وقطر الثقب.

5. نسبة الارتفاع

نسبة العرض إلى الارتفاع، كما يوحي الاسم، هي نسبة عمق الحفر إلى عرض الفتحة. تُعد هياكل نسبة العرض إلى الارتفاع متطلبًا أساسيًا للأجهزة ثلاثية الأبعاد في الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، ويجب تحسينها من خلال نسبة الغاز والتحكم في الطاقة لتجنب تدهور المعدل الأدنى.

6. ضرر الحفر

يمكن أن يؤدي تلف الحفر مثل الإفراط في الحفر والتقويض والحفر الجانبي إلى تقليل دقة الأبعاد (على سبيل المثال، انحراف تباعد القطب الكهربائي، وتضييق الحزم الكابولية).

7. تأثير التحميل

يشير تأثير التحميل إلى ظاهرة تغير معدل الحفر بشكل غير خطي مع متغيرات مثل المساحة وعرض خط النموذج المحفور. وبعبارة أخرى، فإن المناطق المحفورة أو عروض الخطوط المختلفة ستؤدي إلى اختلافات في المعدل أو التشكل.

سيميكوركس متخصصون فيالمغلفة سيكوالمغلفة تاكحلول الجرافيت المطبقة في عمليات التنميش في تصنيع أشباه الموصلات، إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال: +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com