لماذا يتم إدخال ثاني أكسيد الكربون أثناء عملية منشار الويفر

يعد إدخال ثاني أكسيد الكربون إلى ماء التقطيع إجراءً فنيًا مهمًا في عملية منشار الويفر لقمع تراكم الكهرباء الساكنة وتقليل التلوث، وبالتالي تحسين إنتاجية التقطيع وموثوقية الرقائق.

القضاء على الكهرباء الساكنة

الرقاقةتتطلب عملية التقطيع استخدام شفرات ماسية دوارة عالية السرعة للقطع، بينما يتم رش ماء DI للتبريد والتنظيف. خلال هذه العملية، يولد الاحتكاك كمية كبيرة من الشحنات الساكنة. في الوقت نفسه، يخضع الماء DI لتأين ضعيف أثناء الرش عالي الضغط والاصطدام، مما يولد عددًا صغيرًا من الأيونات. تتميز مادة السيليكون نفسها بخاصية تراكم الشحنات الكهربائية بسهولة. إذا لم يتم التحكم في هذه الكهرباء الساكنة، فقد يرتفع جهدها إلى أكثر من 500 فولت، مما يؤدي إلى تفريغ الكهرباء الساكنة. هذا لا يمكن أن يؤدي فقط إلى إتلاف الأسلاك المعدنية للدائرة أو التسبب في تشقق العزل الكهربائي بين الطبقات، ولكنه يتسبب أيضًا في تلويث غبار السيليكون للرقاقة بسبب الامتزاز الكهروستاتيكي أو التسبب في مشاكل في رفع الروابط عند منصات الربط.

عندما يتم إدخال ثاني أكسيد الكربون في الماء، فإنه يذوب ويشكل H₂CO₃. يخضع H₂CO₃ للتأين لإنتاج H⁺ وHCO₃⁻، مما يزيد بشكل كبير من توصيل الماء مع تقليل مقاومته بشكل فعال. تسمح هذه الموصلية المرتفعة بالتوصيل السريع للشحنات الساكنة إلى الأرض عبر تدفق المياه، مما يمنع تراكم الشحنات. علاوة على ذلك، باعتباره غازًا ضعيف السالبية الكهربية، يمكن تأين ثاني أكسيد الكربون في بيئات عالية الطاقة لتوليد جسيمات مشحونة (مثل ثاني أكسيد الكربون وأكسجين). يمكن لهذه الجسيمات تحييد الشحنة التي تحملها أسطح الرقاقة أو الغبار، وبالتالي تقليل خطر الامتزاز الكهروستاتيكي والتفريغ الكهروستاتيكي.

تقليل التلوث وحماية الأسطح

غبار السيليكون المتولد خلالرقاقةعملية المنشار عرضة لتراكم الكهرباء الساكنة، والتي يمكن أن تلتصق بالرقاقة أو سطح المعدات وتؤدي إلى التلوث. في الوقت نفسه، إذا كان ماء التبريد قلويًا، فسوف يتسبب في تكوين رواسب هيدروكسيد في الجزيئات المعدنية (مثل أيونات الحديد والنيكل والكروم في الفولاذ المقاوم للصدأ). سيتم ترسيب رواسب الهيدروكسيد على سطح الرقاقة أو في قنوات التقطيع، مما يؤثر على جودة الرقاقة.

عندما يتم إدخال ثاني أكسيد الكربون، فإنه يعمل على تحييد الشحنات الكهربائية، مما يضعف القوة الكهروستاتيكية بين الغبار والأسطح. وفي الوقت نفسه، يمنع تدفق هواء ثاني أكسيد الكربون الالتصاق الثانوي عن طريق تشتيت الغبار في منطقة القطع. تؤدي إضافة ثاني أكسيد الكربون أيضًا إلى خلق بيئة حمضية معتدلة تمنع ترسيب الأيونات المعدنية، مما يبقيها مذابة ويتيح لتدفق الماء حملها بعيدًا. علاوة على ذلك، لأن ثاني أكسيد الكربون هو غاز خامل، فهو يقلل من الاتصال بين غبار السيليكون والأكسجين، ويمنع أكسدة الغبار وتكتله ويعزز نظافة بيئة القطع.

تقدم Semicorex جودة عاليةرقائقلعملائنا الكرام. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com