ما هي التقطيع والتآكل في عملية CMP؟

Mataas na proseso ng pagpapaubaya: medyo madaling ipatupad.رقاقةسطح. يؤدي CMP إلى عيبين سطحيين، التقطيع والتآكل، مما يؤثر بشكل كبير على التسطيح والأداء الكهربائي لهياكل التوصيل البيني.

الصقل يعني الإفراط في تلميع المواد الأكثر ليونة (مثل النحاس) أثناء عملية CMP، مما يؤدي إلى انخفاضات مركزية موضعية على شكل قرص. شائعة في الخطوط المعدنية الواسعة أو المناطق المعدنية الكبيرة، تنبع هذه الظاهرة في المقام الأول من عدم تناسق صلابة المواد وتوزيع الضغط الميكانيكي غير المتساوي. يتميز التقطيع في المقام الأول بانخفاض في وسط خط معدني عريض واحد، مع زيادة عمق الانخفاض عادةً مع عرض الخط.

يحدث التآكل في المناطق ذات الأنماط الكثيفة (مثل صفائف الأسلاك المعدنية عالية الكثافة). بسبب الاختلافات في الاحتكاك الميكانيكي ومعدلات إزالة المواد، تظهر هذه المناطق ارتفاعًا إجماليًا أقل مقارنة بالمناطق المتناثرة المحيطة. يتجلى التآكل في انخفاض الارتفاع الإجمالي للأنماط الكثيفة، مع تكثيف شدة التآكل مع زيادة كثافة الأنماط.

يتأثر أداء أجهزة أشباه الموصلات سلبًا بكلا العيبين بعدة طرق. وقد تؤدي إلى زيادة مقاومة التوصيل البيني، مما يؤدي إلى تأخير الإشارة وانخفاض أداء الدائرة. بالإضافة إلى ذلك، فإن التقطيع والتآكل قادران أيضًا على التسبب في سماكة عازلة غير متساوية للطبقة البينية، وتعطيل اتساق الأداء الكهربائي للجهاز وتغيير خصائص انهيار الطبقة العازلة المعدنية. وفي العمليات اللاحقة، قد تؤدي أيضًا إلى تحديات محاذاة الطباعة الحجرية، وضعف تغطية الأغشية الرقيقة، وحتى المخلفات المعدنية، مما يؤثر بشكل أكبر على الإنتاج.

لقمع هذه العيوب بشكل فعال، يمكن تحسين أداء عملية CMP وإنتاجية الرقاقة من خلال تكامل تحسين التصميم واختيار المواد الاستهلاكية والتحكم في معلمات العملية. يمكن إدخال أنماط معدنية وهمية لتحسين انتظام توزيع كثافة المعدن أثناء مرحلة تصميم الأسلاك. اختيار وسادة التلميع قادر على تقليل العيوب. على سبيل المثال، تتميز الوسادة الأكثر صلابة بتشوه أقل ويمكن أن تساعد في تقليل عملية التقطيع. علاوة على ذلك، فإن صياغة ومعلمات الملاط تعتبر أيضًا أمرًا بالغ الأهمية لقمع العيوب. يمكن أن يؤدي الملاط ذو نسبة انتقائية عالية إلى تحسين التآكل، ولكنه سيزيد من عملية التقطيع. إن تقليل نسبة الاختيار له تأثير معاكس.

يوفر سيميكوركس ألواح طحن الويفر لمعدات أشباه الموصلات. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com