ظرف فراغ الألومينا المسامية

يتم توصيل ظرف التفريغ بمعدات التفريغ عبر أنبوب توصيل. عندما يتلامس ظرف التفريغ مع قطعة العمل، مثل مادة الرقاقة/الأغشية الرقيقة، تبدأ معدات التفريغ في العمل، مما يخلق ضغطًا سلبيًا داخل ظرف التفريغ. تحت الضغط الجوي، تلتصق قطعة العمل بقوة بظرف الفراغ، مما يسمح بالمعالجة. بعد اكتمال المعالجة، تتوقف معدات التفريغ عن العمل وتملأ ظرف التفريغ بالغاز ببطء، مما يؤدي إلى فصل قطعة العمل عن ظرف الشغل تلقائيًا. هذا يكمل التثبيت والمعالجة والتعامل مع قطعة الشغل.

الهدف الأساسي للطباعة الحجرية الضوئية لأشباه الموصلات هو "طباعة" مليارات من أنماط دوائر الترانزستور على رقاقة بدقة تصل إلى نانومتر. جوهر "الطباعة الحجرية الضوئية" هو استخدام مصدر ضوء لتشعيع مقاوم الضوء شديد الحساسية، مما يتسبب في حدوث تفاعل كيميائي يؤدي إلى حفر الدائرة. ومع ذلك، عندما يقوم مصدر الضوء بإشعاع الرقاقة، فإنه حتماً يضيء أيضًا على ظرف الكهرباء الساكن، الذي يعمل بمثابة حامل الرقاقة. يمكن أن يتداخل الضوء الثانوي المنعكس الناتج مع عملية الطباعة الحجرية الضوئية، مما يسبب التعرض في مناطق غير مقصودة ويؤدي إلى إتلاف الدوائر. ولذلك، فإن السطح الأسود لظرف التفريغ يقلل من الانعكاس، مما يضمن متطلبات الدقة لنظام الطباعة الحجرية الضوئية. واستنادًا إلى هذه القدرة، يمكن استخدام الألومينا السوداء على نطاق واسع ليس فقط في ظرف الكهرباء الساكنة ولكن أيضًا في سيناريوهات "قمع الضوء". لقد أتاح ظهور عصر الذكاء الاصطناعي تطورًا كبيرًا في تطبيقات الاتصالات البصرية، وكثيرًا ما تُرى ركائز الألومينا السوداء في عبوات الأجهزة الإلكترونية الضوئية والعناصر الباعثة للضوء.

سيراميك الألومينا الأسوديتكون بشكل أساسي من Al2O3، مع إضافة أكاسيد فلزية انتقالية كملونات ومساعدات تلبيد، متكلس عند درجة حرارة محددة. يعتبر الملون عنصرًا أساسيًا في هذا النوع من السيراميك، حيث يحدد لونه النهائي. عند اختيار الملونات لظرف التفريغ، من الضروري التأكد من درجة اللون والقوة الميكانيكية والمسامية وحجم المسام لظرف التفريغ.

في الوقت الحالي، تشتمل أكاسيد الفلزات الانتقالية شائعة الاستخدام كملونات محليًا ودوليًا على Fe2O3 وCoO وNiO وCr2O3 وMnO2، مع كون Fe2O3 وCoO وNiO وMnO2 هي الأكثر انتشارًا. نظرًا لأن الألومينا أقل تطايرًا عند درجات الحرارة المرتفعة، في حين أن أكاسيد الفلزات الانتقالية تكون عكس ذلك، فإن تطايرها يزداد مع درجة الحرارة. تشكل هذه الأكاسيد مركبات من نوع الإسبنيل أثناء التلبيد بدرجة حرارة عالية، مما يقلل من تطايرها. لذلك، لقمع تطاير أكاسيد الفلزات الانتقالية، يجب اختيار ظروف العملية المناسبة للسماح لها بالاندماج في مركبات من نوع الإسبنيل عند درجات حرارة منخفضة.

تقدم Semicorex الجماركتشاك فراغ السيراميك المسامية. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com