الطلاء في المجال الحراري لبلورات السيليكون المفردة شبه الموصلة

الأجزاء المطلية في المجال الساخن البلوري أحادي السيليكون لأشباه الموصلات يتم تغليفها عمومًا بطريقة CVD، بما في ذلك طلاء الكربون الحراري،طلاء كربيد السيليكونوطلاء كربيد التنتالوم، ولكل منها خصائص مختلفة.

النقاط المشتركة: الركيزة عبارة عن جرافيت متساوي النقاء عالي النقاء، وعمومًا أقل من 5 جزء في المليون من الرماد؛ يتم استخدام طريقة الطلاء CVD. الطلاء يتكون أساسًا من الكربون أو كربيد السيليكون بنسبة 100%؛ بعد طلاء السطح يكون كثيفًا نسبيًا، يمكن حظر الغاز، وخاصة بخار السيليكون في الفرن أو غاز أكسيد السيليكون؛ كما أن تطاير الغبار الخاص بها قليل جدًا أيضًا.

الاختلافات: سمك الطلاء القياسي، طلاء الكربون الحراري عموما حوالي 40um؛ يتم إجراء طلاء كربيد السيليكون بشكل عام بحوالي 100 ميكرومتر، ولكن وفقًا للاحتياجات المختلفة للعملاء، يمكن تصنيعه من 30 ميكرومتر إلى 150 ميكرومتر، بما في ذلك طلاء واحد وطلاءين؛ طلاء كربيد التنتالوم عموما 35 ± 15um.

طلاء الكربون الحراري، كثافته تعادل كثافة الجرافيت غير المسامي، وهو حوالي 2.2. لديها مقاومة منخفضة وموصلية حرارية عالية في الاتجاه الموازي للسطح، لذلك يمكنها الحفاظ على اتساق درجة حرارة السطح، ولها أيضًا معامل تمدد حراري منخفض ومعامل مرونة مرتفع. في الاتجاه العمودي للسطح، يكون معامل التمدد الحراري أكبر والتوصيل الحراري أقل.

بالنسبة للمنتجات المطلية بكربيد السيليكون، يكون معامل المرونة للطلاء مرتفعًا جدًا، أعلى بعشرات المرات من المعامل المرن لركيزة الجرافيت الداخلية، لذلك لتجنب تمزق المنتج، يجب التعامل معه بلطف.

طلاء الكربون الحراري وطلاء كربيد السيليكون لجميع محتوى الشوائب أقل من 5 جزء في المليون، حيث يكون محتوى العنصر المعدني الرئيسي أقل من 0.1 أو 0.01 جزء في المليون، وأكثر صعوبة في التعامل مع عنصر البورون هو 0.01 أو 0.15 جزء في المليون.

تقدم شركة Semicorex منتج طلاء CVD عالي الجودة لأشباه الموصلات مع خدمة مخصصة. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com