أهمية المواد الجرافيتية المسامية لنمو بلورات SiC

مكون فرن النمو البلوري SiC الخاص بـ Semicorex،برميل الجرافيت المسامية، سيجلب ثلاث فوائد رئيسية ويمكن أن يعزز بشكل فعال القدرة التنافسية المحليةركائز كربيد السيليكون:

• تقليل تكلفة مكونات النمو البلوري SiC؛
• زيادة سمك بلورة SiC وتقليل التكلفة الإجمالية للركيزة؛
• تحسين إنتاجية كريستال SiC وتعزيز القدرة التنافسية للشركات.

تعد إضافة صفائح الجرافيت المسامية إلى أفران نمو بلورات SiC إحدى النقاط الساخنة في الصناعة. وقد ثبت أنه من خلال إدخال أالجرافيت المساميصفائح فوق مسحوق مصدر SiC، يتم تحقيق نقل جيد للكتلة في منطقة البلورة، مما يمكن أن يحسن المشاكل التقنية المختلفة الموجودة في أفران نمو البلورات التقليدية.

(أ) فرن النمو البلوري التقليدي، (ب) فرن النمو البلوري بصفائح الجرافيت المسامية

المصدر: جامعة دونغي، كوريا الجنوبية

وقد أظهرت التجارب أنه عند استخدام أفران نمو البلورات التقليدية، فإن ركائز SiC عادة ما تكون مختلفةالأشكال المتعددة، مثل 6H و15R-SiC، بينماركائز كربيد السيليكونأعدت باستخدام أفران نمو الكريستال المسامية القائمة على الجرافيت لديها فقط4H-SiC أحادي البلورة. وعلاوة على ذلك، يتم أيضًا تقليل كثافة الأنابيب الدقيقة (MPD) وكثافة الحفرة (EPD) بشكل كبير. MPD لأفران النمو البلوريتين هي 6-7EA/cm2 و1-2EA/cm2 على التوالي، والتي يمكن أن تكونتم تخفيضها بما يصل إلى 6 مرات.

أطلقت Semicorex أيضًا عملية "نقل جماعي لمرة واحدة" جديدة تعتمد علىصفائح الجرافيت المسامية. الجرافيت المسامي جيد جدًاالقدرة على التنقية. تستخدم العملية الجديدة مجالًا حراريًا جديدًا لنقل الكتلة الأولي، مما يجعل كفاءة نقل الكتلة محسنة وثابتة بشكل أساسي، وبالتالي تقليل تأثير إعادة التبلور (تجنب نقل الكتلة الثانوي)، مما يقلل بشكل فعال من خطر الأنابيب الدقيقة أو العيوب البلورية الأخرى المرتبطة بها. بالإضافة إلى ذلك، يعد الجرافيت المسامي أيضًا أحد التقنيات الأساسية لحل مشكلة نمو وسمك بلورات SiC، لأنه يمكنه موازنة مكونات مرحلة الغاز، وعزل الشوائب النزرة، وضبط درجة الحرارة المحلية، وتقليل الجزيئات الفيزيائية مثل غلاف الكربون. على فرضية أنه يمكن استخدام الكريستال،سمك الكريستاليمكن تخفيضها. يمكن أن تزيد بشكل ملحوظ.

الميزات التقنية لالجرافيت المسامي Semicorex:

يمكن أن تصل المسامية إلى 65%؛

يتم توزيع المسام بالتساوي.

استقرار دفعة عالية.

قوة عالية، يمكن أن تصل إلى شكل أسطواني رفيع للغاية يبلغ 1 مم.

تقدم Semicorex جودة عاليةالجرافيت المساميالقطع. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com