طبقات وركائز السيليكون الفوقي في تصنيع أشباه الموصلات

المادة المتفاعلة

في عملية تصنيع أشباه الموصلات، تعد طبقات السيليكون الفوقي والركائز مكونين أساسيين يلعبان أدوارًا حاسمة.الركيزة، المصنوعة أساسًا من السيليكون أحادي البلورة، بمثابة الأساس لتصنيع شرائح أشباه الموصلات. يمكن أن تدخل مباشرة في تدفق تصنيع الرقاقة لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات أو تتم معالجتها بشكل أكبر من خلال التقنيات الفوقي لإنشاء رقاقة الفوقي. باعتبارها "القاعدة" التأسيسية لهياكل أشباه الموصلات،الركيزةيضمن السلامة الهيكلية، ويمنع حدوث أي كسور أو أضرار. بالإضافة إلى ذلك، تمتلك الركائز خصائص كهربائية وبصرية وميكانيكية مميزة حاسمة لأداء أشباه الموصلات.

إذا تم تشبيه الدوائر المتكاملة بناطحات السحاب، إذنالركيزةهو بلا شك الأساس المستقر. ولضمان دورها الداعم، يجب أن تظهر هذه المواد درجة عالية من التماثل في بنيتها البلورية، على غرار السيليكون أحادي البلورة عالي النقاء. النقاء والكمال أساسيان لإنشاء أساس قوي. فقط مع قاعدة صلبة وموثوقة يمكن للهياكل العلوية أن تكون مستقرة وخالية من العيوب. ببساطة، دون مناسبةالمادة المتفاعلةفمن المستحيل بناء أجهزة مستقرة وجيدة الأداء لأشباه الموصلات.

تنضيد

تنضيديشير إلى عملية زراعة طبقة بلورية مفردة جديدة بدقة على ركيزة بلورية مفردة مقطوعة ومصقولة بدقة. قد تكون هذه الطبقة الجديدة من نفس المادة الموجودة في الركيزة (تنضيد متجانس) أو مختلفة (تنضيد غير متجانس). نظرًا لأن الطبقة البلورية الجديدة تتبع بدقة امتداد الطور البلوري للركيزة، فإنها تُعرف بالطبقة الفوقية، والتي يتم الحفاظ عليها عادةً عند سمك مستوى الميكرومتر. على سبيل المثال، في السيليكونتنضيد، يحدث النمو في اتجاه بلوري محدد لـ أالركيزة السيليكون أحادية البلورة، وتشكل طبقة بلورية جديدة متسقة في الاتجاه ولكنها تختلف في المقاومة الكهربائية والسمك، وتمتلك بنية شبكية لا تشوبها شائبة. يُطلق على الركيزة التي خضعت للنمو الفوقي اسم الرقاقة الفوقي، حيث تكون الطبقة الفوقي هي القيمة الأساسية التي يدور حولها تصنيع الجهاز.

تكمن قيمة الرقاقة الفوقية في مزيجها المبتكر من المواد. على سبيل المثال، من خلال زراعة طبقة رقيقة مننضوج الجاليومعلى أقل تكلفةرقاقة السيليكون، من الممكن تحقيق خصائص فجوة النطاق العريضة عالية الأداء لأشباه الموصلات من الجيل الثالث بتكلفة أقل نسبيًا باستخدام مواد أشباه الموصلات من الجيل الأول كركيزة. ومع ذلك، فإن الهياكل الفوقي غير المتجانسة تمثل أيضًا تحديات مثل عدم تطابق الشبكة، وعدم الاتساق في المعاملات الحرارية، وضعف التوصيل الحراري، على غرار إنشاء السقالات على قاعدة بلاستيكية. تتمدد المواد المختلفة وتنكمش بمعدلات مختلفة عندما تتغير درجات الحرارة، كما أن التوصيل الحراري للسيليكون ليس مثاليًا.

متجانستنضيد، الذي ينمو طبقة فوقية من نفس مادة الركيزة، يعد أمرًا مهمًا لتعزيز استقرار وموثوقية المنتج. على الرغم من أن المواد هي نفسها، إلا أن المعالجة الفوقي تحسن بشكل كبير من نقاء وتوحيد سطح الرقاقة مقارنة بالرقاقات المصقولة ميكانيكيًا. يكون السطح الفوقي أكثر سلاسة ونظافة، مع انخفاض كبير في العيوب الدقيقة والشوائب، ومقاومة كهربائية أكثر انتظامًا، وتحكم أكثر دقة في جزيئات السطح، وأخطاء الطبقة، والاضطرابات. هكذا،تنضيدلا يعمل على تحسين أداء المنتج فحسب، بل يضمن أيضًا استقرار المنتج وموثوقيته.**

تقدم Semicorex ركائز عالية الجودة ورقائق الفوقي. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com