عمليات التلدين في تصنيع أشباه الموصلات الحديثة

مع استمرار العقد التكنولوجية في التقلص، فإن تشكيل تقاطعات ضحلة للغاية يمثل تحديات كبيرة. عمليات التلدين الحراري بما في ذلكالتلدين الحراري السريع (RTA)والتليين بمصباح الفلاش (FLA) هي تقنيات حيوية تحافظ على معدلات تنشيط عالية للشوائب مع تقليل الانتشار، مما يضمن الأداء الأمثل للجهاز.

1. تشكيل الوصلات الضحلة للغاية:

مع تقلص العقد التكنولوجية، أصبح تشكيل الوصلات الضحلة للغاية أمرًا صعبًا بشكل متزايد. تقنيات مثل التلدين الحراري السريع (هيئة الطرق والمواصلات) والتليين بمصباح الفلاش (FLA) أمران ضروريان لتحقيق معدلات تنشيط عالية للشوائب مع تقليل الانتشار، وبالتالي ضمان الأداء الأمثل للجهاز.

2. تعديل عوازل البوابة ذات الجهد العالي:

التلدين بعد الترسيب (PDA) يعزز بشكل كبير الخواص الكهربائية للعوازل الكهربائية للبوابة ذات معامل العزل الكهربائي العالي. تقلل هذه العملية من تيارات تسرب البوابة وتزيد من ثوابت العزل الكهربائي، والتي تعتبر حيوية لأجهزة المنطق والذاكرة المتقدمة.

3. تكوين مبيدات السيليكات المعدنية :

يعد تحسين مبيدات السيليكات المعدنية، مثل CoSi وNiSi، أمرًا ضروريًا لتحسين الاتصال والمقاومة السائبة. يسهل التحكم الدقيق في ظروف التلدين إنشاء مراحل مثالية للسبائك، مما يعزز كفاءة الجهاز بشكل عام.

4. تقنيات التكامل ثلاثي الأبعاد:

في تقنيات مثل 3D NAND و3D DRAM، يجب تطبيق عمليات التلدين عبر طبقات متعددة. تلعب التقنيات الحرارية السريعة دورًا رئيسيًا في ضمان تحقيق كل طبقة للأداء الأمثل.

يعد التلدين أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات، مما يتيح إصلاح تلف الشبكة، وتنشيط الشوائب، وتعديل الفيلم، وتكوين مبيدات السيليكات المعدنية من خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة والوقت والميزانيات الحرارية. ومع تقلص عقد التكنولوجيا، فإن طرق التلدين المتقدمة مثلهيئة الطرق والمواصلات، أصبحت FLA والتليين بالليزر سائدة. وبالنظر إلى المستقبل، ستستمر عملية التلدين في الابتكار لتلبية متطلبات المواد والأجهزة الناشئة.

تقدم Semicorex منتجات رائدة في الصناعةحلول الصلب، مما يضمن أن أجهزة أشباه الموصلات الخاصة بك تلبي أعلى معايير الأداء بدقة وموثوقية.

إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com