ما هو SOI

يتم التعرف على السيليكون على العازل (SOI) كأحد الحلول لاستبدال مواد السيليكون أحادية البلورية الموجودة في عصر تكنولوجيا النانو وهو أداة رئيسية للحفاظ على اتجاه قانون مور. Silicon-on-insulator ، وهي تقنية ركيزة تحل محل السيليكون السائب التقليدي بركيزة "هندسية" ، وقد تم استخدامها لأكثر من 30 عامًا في تطبيقات متخصصة مثل أنظمة الإلكترونيات العسكرية والفضائية ، حيث تتمتع SOI بمزايا فريدة نظرًا لامتيازها مقاومة الإشعاع وخصائص عالية السرعة.

مواد SOI هي الأساس لتطوير تكنولوجيا SOI ، ويعتمد تطوير تكنولوجيا SOI على التقدم المستمر لمواد SOI. كان الافتقار إلى مواد SOI منخفضة التكلفة وعالية الجودة هو العائق الأساسي لتكنولوجيا SOI لدخول الإنتاج الصناعي على نطاق واسع. في السنوات الأخيرة ، مع نضج تقنية تحضير مواد SOI ، يتم حل المشكلة المادية التي تقيد تطوير تقنية SOI تدريجيًا ، والتي تتضمن في النهاية نوعين من تقنية تحضير مواد SOI ، وهما زرع Speration-by-Oxygen (SIMOX) وتقنية الترابط. تشتمل تقنية الترابط على تقنية Bond and Etch back (BESOI) التقليدية وتقنية Smart-cut التي تجمع بين حقن أيونات الهيدروجين والربط التي اقترحها M. Bruel ، أحد مؤسسي SOITEC في فرنسا ، بالإضافة إلى دمج إعداد مادة Simbond SOI. عزل الأكسجين والترابط الذي اقترحه الدكتور منغ تشين في عام 2005. التكنولوجيا الجديدة تجمع بين عزل حقن الأكسجين والترابط.