معرفة مجداف ناتئ

أثناء المعالجة ، يجب عادةً تسخين رقائق أشباه الموصلات في فرن متخصص. تتكون هذه الأفران عادة من أنابيب أسطوانية طويلة رفيعة. يتم وضع الرقائق في الفرن والمفاعل بطريقة يتم ترتيبها على طول مستوى محدد بواسطة المقطع العرضي الدائري للفرن أو المفاعل ويتم تباعدها عن بعضها البعض عند نقاط محددة مسبقًا ، وعادة ما تكون متباعدة بشكل متساوٍ ، على طول المحور المركزي للفرن أو المفاعل. فرن أو مفاعل. لتحقيق هذا الموضع ، يتم وضع الرقائق عادةً على حوامل ذات فترة زمنية محددة ، تسمى قوارب الرقاقة ، والتي تضع الرقائق في تكوين متباعد محاذي على طول المحور المركزي.

توضع القوارب الصغيرة التي تحتوي على دفعات من الرقائق المراد معالجتها على مجاذيف ناتئة طويلة يمكن من خلالها إدخال وسحب الأفران والمفاعلات الأنبوبية. تشتمل هذه المجاذيف عادةً على قسم ناقل مسطح يمكن وضع قارب صغير أو أكثر عليه ، ومقبض طويل يقع في أحد طرفي قسم الناقل المسطح ، والذي يمكن من خلاله التعامل مع المجاذيف. عادة ما يتم تشكيل جزء انتقالي بين المقبض والجزء الناقل لجعلها كاملة. أيضًا ، يجب أن يمتد المقبض خارج الفرن أو المفاعل بحيث يمكن التلاعب به وبقارب الرقاقة.

يعد وضع سفينة الويفر داخل الفرن أو المفاعل أمرًا مهمًا لأنه من المستحسن وضع مركز كل رقاقة بالقرب من المحور المركزي للفرن أو المفاعل قدر الإمكان لتحقيق ظروف معالجة موحدة تخضع لها الرقاقات. لذلك ، يجب مراعاة انحناء المجذاف الناجم عن وزن السفينة الحاملة للرقائق في تصميم المجذاف ، خاصة وأن المجذاف مدعوم من طرف واحد فقط ، أي الطرف الذي يبرز من غرفة الفرن. بالإضافة إلى مراعاة تصميم المجذاف الناتج عن متطلبات الوزن التشغيلي ، يجب أيضًا استخدام مجموعة من المشابك المصممة لتثبيت الطرف الممتد للمجداف في موضعه بدقة. يجب أن تكون هذه المشابك قوية جدًا للحفاظ على المضرب في الموضع المطلوب بدقة مع سهولة استخدامه وتقليل احتمالية تلف المجذاف أثناء التثبيت.

لذلك ، كانت هناك حاجة إلى مجداف ناتئ يمكن استخدامه مع حمل أثقل مع الحفاظ على توافقه مع أنظمة التثبيت الحالية. كانت هناك أيضًا حاجة إلى مجداف ناتئ يعرض خصائص انحراف مقبولة على النطاق الكامل لأحمال الوزن التي يمكن استخدامه معها.

جيوصى باستخدام المضرب المضاد لاستخدام كربيد السيليكون المُعاد تبلوره مع طبقة رقيقة من SiC CVD ، والتي تتميز بدرجة نقاء عالية وأفضل خيار للمكونات في معالجة أشباه الموصلات.

يمكن أن توفر Semicorexجودة عاليةالمجاذيف ناتئوخدمات مخصصة وفقًا للرسومات وبيئة العمل.