ما هو النقش بالبلازما بدرجة حرارة منخفضة؟

البلازما هي الحالة الرابعة للمادة، وتلعب دورًا حاسمًا في كل من التطبيقات الصناعية والظواهر الطبيعية. على سبيل المثال، توجد البلازما في البرق وتتولد بكثرة على سطح الشمس، حيث تصل درجة الحرارة الأساسية إلى 13500 درجة مئوية. هذه البلازما ذات درجة الحرارة العالية ليست مناسبة لمعظم عمليات الإنتاج الصناعي.

من ناحية أخرى، البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة هي شكل من أشكال البلازما تم تصنيعه صناعيًا ويستخدم الطاقة، بدلاً من الحرارة، لتسريع التفاعلات الكيميائية. تتراوح درجة حرارته عادةً من درجة حرارة الغرفة إلى عدة مئات من الدرجات المئوية، مما يجعله فعالاً للغاية لمختلف التطبيقات.

خطوات توليد البلازما الاصطناعية:

1. تقليل الضغط في الحجرة: ابدأ باستخدام مضخة التفريغ لخفض الضغط في التجويف. يعد تحقيق الضغط المنخفض أمرًا ضروريًا لتحقيق استقرار البلازما وتسهيل تأين الغاز.

2. إدخال غاز المعالجة: قم بحقن غازات معالجة محددة في التجويف. تعمل هذه الغازات كمصدر أساسي للجزيئات في البلازما.

3. إثارة البلازما: استخدم الطاقة لتأين الغاز، وتكوين البلازما بشكل فعال.

4. قم بإلغاء تنشيط البلازما واستعادة الضغط الجوي: بمجرد اكتمال التفاعلات المطلوبة، قم بإيقاف تشغيل البلازما وأعد الغرفة إلى الضغط الجوي.

تطبيقات البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة في صناعة أشباه الموصلات:

لا غنى عن البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة في تصنيع أشباه الموصلات، حيث تخدم وظائف مهمة في الحفر الجاف، وترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وترسيب الطبقة الذرية (ALD)، وزرع الأيونات، والرماد، والكشف عن نقطة النهاية. إن تنوعها وكفاءتها يجعلها أداة أساسية في الصناعة.

عروض سيميكوركسحلول عالية الجودة لنقش البلازما. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com