هيكل تشاك كهرباء (ESC)

انظرف كهرباء (ESC)هو جهاز يستخدم لتثبيت رقائق أشباه الموصلات في مكانها أثناء عمليات مثل الحفر أو الترسيب أو التلميع. إنه يعمل عن طريق توليد مجال إلكتروستاتيكي لجذب الرقاقة وتثبيتها بشكل آمن على سطح ظرف الظرف، مما يوفر الاستقرار والمحاذاة الدقيقة أثناء التعامل مع الرقاقة. تُستخدم المجالس الاقتصادية والاجتماعية على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات لتحسين دقة العملية وكفاءة معالجة الرقائق.

الصورة الفعلية التقليديةتشاك كهرباء (ESC)هو موضح في الشكل. يكمن الاختلاف الأساسي بين النماذج في مادة الطبقة العازلة الموجودة على سطح ظرف الظرف الكهروستاتيكي. في الشكل، يمثل اللون الداكن نيتريد الألومنيوم، بينما يمثل اللون الأبيض أكسيد الألومنيوم. هيكلتشاك كهرباءيتكون من عدة أجزاء:

1. **الطبقة العازلة**: تكون هذه الطبقة على اتصال بالرقاقة، وعادةً ما تكون مصنوعة من نيتريد الألومنيوم أو سيراميك أكسيد الألومنيوم نظرًا لقوتها الميكانيكية الممتازة، ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية، والتوصيل الحراري الجيد.

2. **دبوس القاذف وفتحة الغاز**: تم تصميم دبوس القاذف لنقل الرقاقة. عندما تدخل الرقاقة إلى غرفة الحفر، يرتفع دبوس القاذف لدعمها، ثم ينخفض ​​لوضع الرقاقة على سطح ظرف الظرف الكهروستاتيكي. عادةً ما يكون لدى دبوس القاذف هيكل مجوف، مما يسمح بإدخال غاز الهيليوم للمساعدة في تبريد الرقاقة.

3. **قناة التدفق الخلفي**: يعزز هذا المكون تبديد الحرارة ويسهل امتصاص الرقاقة.

4. **قطب إلكتروستاتيكي**: يولد هذا القطب مجالًا كهربائيًا يخلق القوة الكهروستاتيكية اللازمة لتثبيت الرقاقة في مكانها. عادة، يكون القطب مستوًا ويكون إما مدمجًا داخل المادة العازلة أو مترسبًا عليها. وتشمل المواد الموصلة شائعة الاستخدام الألومنيوم والنحاس والتنغستن.

5. ** تعميم مياه التبريد وقطب التدفئة **: هذه العناصر مسؤولة بشكل أساسي عن التحكم في درجة الحرارة الشاملة للظرف الكهروستاتيكي. يعمل قطب التسخين ومياه التبريد المتداولة جنبًا إلى جنب للحفاظ على درجة حرارة ثابتة للرقاقة. قد يؤدي الاعتماد فقط على مياه التبريد المتداولة إلى عدم القدرة على إدارة الحرارة المتولدة أثناء عملية النقش، مما قد يعرض استقرار العملية للخطر.  

تقدم Semicorex جودة عاليةظرف كهرباء (ESC). إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com