قارب رقاقة كربيد السيليكون

في صناعة أشباه الموصلات، تتضمن الأكسدة وضع الرقاقة في بيئة ذات درجة حرارة عالية حيث يتدفق الأكسجين عبر سطح الرقاقة لتشكيل طبقة أكسيد. وهذا يحمي الرقاقة من الشوائب الكيميائية، ويمنع تسرب التيار من دخول الدوائر، ويمنع الانتشار أثناء زرع الأيونات، ويمنع انزلاق الرقاقة أثناء التنميش، مما يشكل طبقة واقية على سطح الرقاقة. المعدات المستخدمة في هذه الخطوة هي فرن الأكسدة. تشتمل المكونات الرئيسية داخل غرفة التفاعل على قارب الرقاقة، والقاعدة، وأنابيب بطانة الفرن، وأنابيب الفرن الداخلية، وحواجز العزل الحراري. ونظرًا لارتفاع درجة حرارة التشغيل، فإن متطلبات الأداء للمكونات داخل غرفة التفاعل مرتفعة أيضًا.

القارب رقاقةيستخدم كحامل لنقل ومعالجة الرقائق. يجب أن تمتلك مزايا مثل التكامل العالي، الموثوقية العالية، الخصائص المضادة للكهرباء الساكنة، مقاومة درجات الحرارة العالية، مقاومة التآكل، مقاومة التشوه، الاستقرار الجيد، وعمر الخدمة الطويل. نظرًا لأن درجة حرارة أكسدة الرقاقة تتراوح تقريبًا بين 800 درجة مئوية و1300 درجة مئوية، ومتطلبات محتوى الشوائب المعدنية في البيئة صارمة للغاية، فإن المكونات الرئيسية مثل قارب الرقاقة يجب ألا تتمتع فقط بخصائص حرارية وميكانيكية وكيميائية ممتازة، ولكن أيضًا تحتوي على محتوى شوائب معدنية منخفضة للغاية. بناءً على الركيزة، يمكن تقسيمها إلى قوارب رقاقة الكوارتز، وقوارب رقاقة السيراميك من كربيد السيليكون، وما إلى ذلك. ومع ذلك، مع تقدم عقد المعالجة أقل من 7 نانومتر وتوسيع نوافذ المعالجة ذات درجة الحرارة العالية، أصبحت قوارب الكوارتز التقليدية تدريجيًا غير كافية من حيث الاستقرار الحراري، والتحكم في الجسيمات، وإدارة العمر. تحل قوارب كربيد السيليكون (SiC) محل حلول الكوارتز التقليدية تدريجيًا.

1. تصنيع أشباه الموصلات

في العمليات ذات درجات الحرارة العالية لتصنيع الرقائق، مثل الأكسدة، والانتشار، وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وزرع الأيونات، يتم استخدام قوارب SiC لدعم رقائق السيليكون، مما يضمن بقاء الرقائق مسطحة عند درجات حرارة عالية ومنع اختلال الشبكة أو التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري، وبالتالي ضمان دقة الرقاقة والأداء.

2. الصناعة الكهروضوئية

يمتلك سيراميك كربيد السيليكون قوة ميكانيكية ممتازة، وثباتًا حراريًا، ومقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة الأكسدة، ومقاومة الصدمات الحرارية، ومقاومة التآكل الكيميائي، ويستخدم على نطاق واسع في المجالات الشائعة مثل المعادن والآلات والطاقة الجديدة والمواد الكيميائية لمواد البناء. كما أن أدائها كافٍ للعمليات الحرارية في التصنيع الكهروضوئي، مثل الانتشار، LPCVD (ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط)، وPECVD (ترسيب البخار الكيميائي للبلازما) لخلايا TOPcon. بالمقارنة مع مواد الكوارتز التقليدية، فإن مواد سيراميك كربيد السيليكون المستخدمة لصنع دعامات القوارب والقوارب الصغيرة والمنتجات الأنبوبية توفر قوة أعلى واستقرارًا حراريًا أفضل ولا تشوه تحت درجات الحرارة العالية. ويبلغ عمرها أيضًا أكثر من خمسة أضعاف عمر الكوارتز، مما يقلل بشكل كبير من تكاليف التشغيل وفقدان الطاقة بسبب توقف الصيانة. وينتج عن ذلك ميزة واضحة من حيث التكلفة، كما أن المواد الخام متاحة على نطاق واسع.

3. صناعة أشباه الموصلات من الجيل الثالث

في غرف تفاعل ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD)، تُستخدم قوارب كربيد السيليكون لدعم ركائز الياقوت، وتحمل بيئات الغاز المسببة للتآكل مثل الأمونيا (NH3)، ودعم النمو الفوقي لمواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل نيتريد الغاليوم (GaN)، وتحسين كفاءة الإضاءة وأداء رقائق LED. في نمو بلورة واحدة من كربيد السيليكون، تعمل قوارب كربيد السيليكون كدعامات كريستالية للبذور في أفران نمو بلورة واحدة من كربيد السيليكون، وتتحمل البيئة المسببة للتآكل ذات درجة الحرارة العالية للسيليكون المنصهر، مما يوفر دعمًا ثابتًا لنمو بلورات كربيد السيليكون المفردة، وتعزيز إعداد بلورات كربيد السيليكون المفردة عالية الجودة.

توفر شركة Semicorex سيراميك SiC عالي الجودةقوارب الويفر. تم تصميم منتجاتنا لتوفير ثبات حراري فائق وعمر خدمة ممتد واتساق استثنائي للعملية. للحصول على حلول مخصصة أو معلومات فنية إضافية، فلا تتردد في الاتصال بفريقنا الهندسي.

الهاتف: +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com