يعتبر جهاز الجرافيت أحد الأجزاء الأساسية في معدات MOCVD ، وهو الناقل والسخان لركيزة الرقاقة. تلعب خصائص الثبات الحراري والتوحيد الحراري دورًا حاسمًا في جودة نمو الويفر الفوقي ، والذي يحدد بشكل مباشر تناسق ونقاء مواد الطبقة ، ونتيجة لذلك تؤثر جودتها بشكل مباشر على تحضير epitaxy.
اقرأ أكثرفي مجال الجهد العالي ، خاصة بالنسبة للأجهزة عالية الجهد فوق 20000 فولت ، لا تزال تقنية SiC فوق المحور تواجه العديد من التحديات. تتمثل إحدى الصعوبات الرئيسية في تحقيق التوحيد العالي والسماكة وتركيز المنشطات في الطبقة فوق المحورية. لتصنيع مثل هذه الأجهزة عالية الجهد ، يلزم وجود رقاقة فوقية من كربيد ال......
اقرأ أكثر