تم تصميم مكون ICP المطلي بـ SiC من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. مع طلاء كريستال SiC الناعم، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.
اقرأ أكثرإرسال استفسارعندما يتعلق الأمر بعمليات معالجة الرقاقات مثل epitaxy وMOCVD، فإن طلاء SiC عالي الحرارة من Semicorex لغرف حفر البلازما هو الخيار الأفضل. توفر ناقلاتنا مقاومة فائقة للحرارة، وتوحيدًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة بفضل طلاء كريستال SiC الناعم.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتم تصميم صينية النقش بالبلازما ICP من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل النضوج وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وعالية الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، توفر ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية وأنماط تدفق الغاز الصفائحي وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفساريعد الناقل المطلي بـ SiC من Semicorex لنظام ICP Plasma Etching System حلاً موثوقًا وفعالاً من حيث التكلفة لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. تتميز ناقلاتنا بطبقة كريستال SiC الدقيقة التي توفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتم تصميم جهاز الاستقبال المغطى بكربيد السيليكون من Semicorex للبلازما المقترنة حثيًا (ICP) خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل النضوج وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفساريعد حامل الرقاقة النقش ICP من Semicorex الحل الأمثل لعمليات معالجة الرقاقة ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفسار