تعتبر لوحة الناقل RTP المطلية بـ Semicorex SiC للنمو الفوقي الحل الأمثل لتطبيقات معالجة رقائق أشباه الموصلات. بفضل مستشعرات الجرافيت الكربوني عالية الجودة وبوتقات الكوارتز التي تتم معالجتها بواسطة MOCVD على سطح الجرافيت والسيراميك وما إلى ذلك، يعد هذا المنتج مثاليًا لمعالجة الرقاقات ومعالجة النمو الفوقي. يضمن الناقل المطلي بـ SiC التوصيل الحراري العالي وخصائص توزيع الحرارة الممتازة، مما يجعله خيارًا موثوقًا به لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي.
اقرأ أكثرإرسال استفسار