قارب رقاقة السيراميك SiC

يتميز قارب الرقاقة الخزفي Semicorex SiC عن نفسه من خلال مجموعة فريدة من خصائص المواد التي تجعله مناسبًا بشكل مثالي لقسوة تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية:

استقرار لا يتزعزع في درجات الحرارة العالية:غالبًا ما تتضمن معالجة الرقاقات درجات حرارة شديدة تدفع المواد التقليدية إلى أقصى حدودها. يُظهر قارب الويفر الخزفي SiC مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية، ويحافظ على سلامته الهيكلية وخصائصه الميكانيكية حتى في درجات حرارة تتجاوز 1650 درجة مئوية (3000 درجة فهرنهايت). يتيح ذلك استخدامها في العمليات الحرجة مثل الانتشار والتليين، حيث يكون التحكم الدقيق في درجة الحرارة واستقرار الرقاقة أمرًا بالغ الأهمية.

حصن منيع ضد التآكل:تشكل المواد الكيميائية القاسية والمواد العدوانية المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية تحديًا كبيرًا لسلامة المواد. يُظهر قارب الرقاقة الخزفي SiC مقاومة فائقة للتآكل مقارنةً بمعظم المعادن والسيراميك الأخرى، ويتحمل التعرض لفترة طويلة لمجموعة واسعة من الأحماض والمذيبات والأملاح والمركبات العضوية. ويضمن هذا الخمول طول عمر القارب، ويمنع التلوث الناتج عن تدهور المواد، ويضمن نقاء خطوات العملية الحاسمة.

نظافة سهلة من أجل نقاء لا هوادة فيه:يعد الحفاظ على أسطح الرقاقة الأصلية أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق إنتاجية وأداء عاليين للأجهزة. السطح غير المسامي لقارب الويفر الخزفي SiC ومقاومته للهجوم الكيميائي يجعل من السهل تنظيفه بشكل استثنائي. تتم إزالة الملوثات بسهولة، مما يمنع التلوث المتبادل بين عمليات تشغيل العملية ويضمن البيئة البكر المطلوبة لأشباه الموصلات والأجهزة الكهروضوئية عالية الأداء.

المرونة ضد الإجهاد الحراري والميكانيكي:غالبًا ما تتضمن معالجة الرقاقات تغيرات سريعة في درجات الحرارة والتعامل الميكانيكي الذي يمكن أن يؤدي إلى الضغط وإتلاف المواد الحساسة. تضمن الخصائص الميكانيكية القوية لقارب الويفر الخزفي SiC، بما في ذلك الصلابة العالية والمقاومة الاستثنائية للصدمات الحرارية، سلامته الهيكلية حتى في ظل الظروف الصعبة. وهذا يقلل من خطر توليد الجسيمات أو تلف الرقائق، مما يساهم في زيادة الإنتاجية وجودة المنتج المتسقة.

نقل خالي من الانزلاق للحصول على دقة لا تتزعزع:يعد التعامل الدقيق مع الرقاقات أمرًا ضروريًا لمنع التلف وضمان المعالجة المتسقة. إن التشحيم المتأصل في قارب الويفر الخزفي SiC ومعامل الاحتكاك المنخفض يخلقان سطحًا خاليًا من الانزلاق بشكل طبيعي. وهذا يسمح بحركة الرقاقة بشكل سلس ومتحكم أثناء التحميل والتفريغ، مما يقلل من مخاطر الخدش أو التقطيع أو غيرها من الأضرار التي قد تؤثر على سلامة الرقاقة.