مستقبل البرميل المطلي بـ SiC للنمو الفوقي LPE

يعتبر جهاز Semicorex SiC المغلفة ببرميل Susceptor للنمو الفوقي LPE منتجًا عالي الأداء مصممًا لتوفير أداء ثابت وموثوق على مدار فترة ممتدة. إن شكلها الحراري المتساوي، ونمط تدفق الغاز الرقائقي، ومنع التلوث يجعلها خيارًا مثاليًا لنمو الطبقات الفوقية عالية الجودة على رقائق الويفر. إن قابليته للتخصيص وفعاليته من حيث التكلفة تجعله منتجًا تنافسيًا للغاية في السوق.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يعتبر جهاز امتصاص البرميل المطلي بـ SiC الخاص بنا للنمو الفوقي LPE منتجًا عالي الجودة وموثوقًا يوفر قيمة ممتازة مقابل المال. إن مقاومته للأكسدة في درجات الحرارة العالية، وحتى مظهره الحراري، والوقاية من التلوث تجعله خيارًا مثاليًا لنمو الطبقات الفوقية عالية الجودة على رقائق الويفر. متطلبات الصيانة المنخفضة وقابلية التخصيص تجعله منتجًا تنافسيًا للغاية في السوق.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن جهاز امتصاص البراميل المطلي بـ SiC للنمو الفوقي LPE.

معلمات متقبل البرميل المطلي بـ SiC للنمو الفوقي LPE

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300

ميزات جهاز امتصاص البرميل المطلي بـ SiC للنمو الفوقي LPE

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.

- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.

- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.

- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.