إن محرض البرميل المطلي برباعي النواة Semicorex للنمو فوق المحور LPE هو منتج عالي الأداء مصمم لتوفير أداء ثابت وموثوق على مدى فترة طويلة. إن المظهر الحراري المتساوي ونمط تدفق الغاز الرقائقي والوقاية من التلوث يجعلها خيارًا مثاليًا لنمو الطبقات الفوقية عالية الجودة على رقائق الويفر. إن قابليته للتخصيص والفعالية من حيث التكلفة تجعله منتجًا ذا قدرة تنافسية عالية في السوق.
إن مستشعر البرميل المطلي SiC من أجل LPE Epitaxial Growth هو منتج عالي الجودة وموثوق يوفر قيمة ممتازة مقابل المال. إن مقاومته للأكسدة عند درجات الحرارة العالية ، وحتى المظهر الحراري ، والوقاية من التلوث تجعله خيارًا مثاليًا لنمو طبقات فوقية عالية الجودة على رقائق بسكويت الويفر. إن متطلبات الصيانة المنخفضة وقابلية التخصيص تجعله منتجًا ذا قدرة تنافسية عالية في السوق.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مستشعر البرميل المطلي SiC الخاص بنا لنمو LPE فوق المحاور.
معلمات مستشعر البرميل المطلي SiC للنمو فوق المحور LPE
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستشعر البرميل المطلي SiC للنمو فوق المحور LPE
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التصدع والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.