بفضل نقطة الانصهار العالية، ومقاومة الأكسدة، ومقاومة التآكل، فإن جهاز Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor هو الخيار الأمثل للاستخدام في تطبيقات النمو البلوري الفردي. يوفر طلاء كربيد السيليكون خصائص استثنائية للتسطيح وتوزيع الحرارة، مما يضمن أداءً موثوقًا ومتسقًا حتى في البيئات ذات درجات الحرارة العالية الأكثر تطلبًا.
إن منتج Semicorex-Coated Barrel Susceptor هو منتج جرافيت عالي الجودة مطلي بمادة SiC عالية النقاء، مصمم خصيصًا لعمليات LPE وتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات الأخرى. توفر كثافته الاستثنائية وموصليته الحرارية توزيعًا فائقًا للحرارة وحماية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل.
في Semicorex، نركز على توفير جهاز توصيل البراميل المطلي بطبقة SiC عالي الجودة وفعال من حيث التكلفة، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل، ونقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات متقبل البرميل المطلي بـ SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات متقبل البرميل المطلي بـ SiC
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.