إذا كنت تبحث عن مستقبِل جرافيت عالي الأداء لاستخدامه في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات، فإن مستقبِل أسطوانة الجرافيت المطلية بـ Semicorex SiC هو الخيار المثالي. إن التوصيل الحراري الاستثنائي وخصائص توزيع الحرارة تجعله الخيار الأمثل لأداء موثوق ومتسق في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل.
يُعد جهاز Semicorex SiC المطلي ببراميل الجرافيت الخيار الأمثل لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب توزيعًا استثنائيًا للحرارة والتوصيل الحراري. يوفر طلاء SiC عالي النقاء وكثافته الفائقة حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة، مما يضمن أداءً موثوقًا ومتسقًا حتى في البيئات الأكثر تحديًا.
تم تصميم أسطوانة الجرافيت المطلية بـ SiC لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد حول جهاز امتصاص أسطوانة الجرافيت المطلي بـ SiC.
معلمات متقبل أسطوانة الجرافيت المطلية بـ SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات متقبل أسطوانة الجرافيت المطلية بـ SiC
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.