إذا كنت تبحث عن حساس للجرافيت عالي الأداء لاستخدامه في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، فإن مستشعر برميل الجرافيت المطلي من Semicorex SiC هو الخيار الأمثل. الموصلية الحرارية الاستثنائية وخصائص توزيع الحرارة تجعلها الخيار المفضل للحصول على أداء موثوق به ومتسق في درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل.
يعتبر مستشعر برميل الجرافيت المطلي من Semicorex SiC الخيار الأمثل لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب توزيعًا استثنائيًا للحرارة والتوصيل الحراري. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والكثافة الفائقة حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة ، مما يضمن أداءً موثوقًا به ومتسقًا حتى في أكثر البيئات تحديًا.
تم تصميم مستشعر برميل الجرافيت المطلي SiC لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لتعرف المزيد عن حساس برميل الجرافيت المطلي بالكربيد الكربوني.
معلمات مستشعر برميل الجرافيت المطلي SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستشعر برميل الجرافيت المطلي SiC
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.