يُعد برميل الجرافيت المطلي بطبقة كربيد السيليكون من Semicorex الخيار الأمثل لتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب مقاومة عالية للحرارة والتآكل. إن التوصيل الحراري الاستثنائي وخصائص توزيع الحرارة تجعله مثاليًا للاستخدام في عمليات LPE وغيرها من البيئات ذات درجات الحرارة العالية.
عندما يتعلق الأمر بتصنيع أشباه الموصلات، فإن أسطوانة الجرافيت المطلية بطبقة كربيد السيليكون من سيميكوركس هي الخيار الأفضل لأداء وموثوقية استثنائية. يوفر طلاء SiC عالي الجودة والكثافة الفائقة والتوصيل الحراري توزيعًا فائقًا للحرارة وحماية حتى في البيئات الأكثر تحديًا ودرجات الحرارة العالية والتآكل.
يضمن أسطوانة الجرافيت المطلية بطبقة من كربيد السيليكون مظهرًا حراريًا متساويًا، مما يضمن أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي. فهو يمنع أي تلوث أو شوائب من الانتشار إلى الرقاقة، مما يجعلها مثالية للاستخدام في بيئات غرف الأبحاث. Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد واسعة النطاق لـ SiC Coated Graphite Susceptor في الصين، ومنتجاتنا تتمتع بميزة سعرية جيدة. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في صناعة أشباه الموصلات.
معلمات برميل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات برميل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة المرتفعة وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو البلورة المفردة له سطح مسطح عالي جدًا.
- تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التشقق والتصفيح.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة للتآكل.