إذا كنت بحاجة إلى مستشعر الجرافيت عالي الأداء لاستخدامه في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، فإن ترسيب Epitaxial Semicorex Silicon In Barrel Reactor هو الخيار الأمثل. يوفر طلاء SiC عالي النقاء والتوصيل الحراري الاستثنائي حماية فائقة وخصائص توزيع الحرارة ، مما يجعله الخيار المفضل للحصول على أداء موثوق به ومتسق حتى في أكثر البيئات تحديًا.
يُعد ترسيب فوق المحور السليكوني في مفاعل الأسطوانة منتجًا مثاليًا لتنمية الطبقات اللاصقة على رقائق الويفر. وهو عبارة عن حاملة جرافيت عالية النقاء مطلية بـ SiC ومقاومة للغاية للحرارة والتآكل ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في البيئات القاسية. هذا المستشعر الأسطواني مناسب لـ LPE ، ويوفر أداء حراريًا ممتازًا ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. بالإضافة إلى ذلك ، فهو يضمن أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ويمنع التلوث أو الشوائب من الانتشار في الرقاقة.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتميز ترسيب السيليكون فوق المحور في مفاعل البرميل بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات الترسيب فوق المحور السيليكوني في مفاعل البرميل
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح الترسيب فوق المحور السيليكوني في مفاعل البرميل
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.