قاعدة السيليكون

1. قاعدة السيليكون Semicorex تعمل على استقرار بيئة المعالجة للحصول على أفضل النتائج:

إنشاء أساس مستقر للقوارب الكريستالية:توفر قاعدة السيليكون منصة قوية ومستقرة حراريًا لقوارب السيليكون داخل غرفة الفرن ذات درجة الحرارة العالية. ويضمن هذا الاستقرار أن تحافظ القوارب على موقعها واتجاهها طوال العملية، مما يمنع الحركة غير المرغوب فيها أو الإمالة التي قد تؤدي إلى تعطيل ديناميكيات تدفق الغاز والإضرار بتجانس درجة الحرارة.

تعزيز توحيد درجة الحرارة داخل غرفة التفاعل:من خلال عزل قارب السيليكون بشكل فعال عن أرضية الفرن وجدرانه، تقلل قاعدة السيليكون من فقدان الحرارة من خلال التوصيل وتعزز توزيع درجة الحرارة بشكل أكثر اتساقًا داخل أنبوب التفاعل الحراري. تعد قدرة الإدارة الحرارية المحسنة هذه أمرًا ضروريًا لتحقيق ملفات انتشار أو أكسدة متسقة وقابلة للتكرار عبر سطح الرقاقة بالكامل.

تعزيز كفاءة العزل من أجل الاستخدام الأمثل للطاقة:تساهم خصائص العزل الحراري المتأصلة في قاعدة السيليكون في عملية أكثر كفاءة في استخدام الطاقة عن طريق تقليل فقدان الحرارة إلى البيئة المحيطة. ويترجم ذلك إلى دورات تسخين وتبريد أسرع، وتقليل استهلاك الطاقة، وفي النهاية خفض تكاليف المعالجة الإجمالية.

2. تآزر المواد للحصول على جودة فائقة للرقاقة:

مطابقة التمدد الحراري لتقليل إجهاد الرقاقة:توفر قاعدة السيليكون، المصنعة من نفس مادة السيليكون عالية النقاء المستخدمة في القوارب والرقائق نفسها، ميزة حاسمة على المواد البديلة مثل الكوارتز أو كربيد السيليكون. يضمن هذا التآزر بين المواد أن القاعدة والقارب والرقائق تتوسع وتنكمش بمعدلات متطابقة تقريبًا أثناء دورات التسخين والتبريد، مما يقلل من مخاطر الإجهاد الحراري وانحناء الرقاقة والعيوب البلورية التي يمكن أن تؤثر سلبًا على إنتاجية الجهاز وأدائه.

تقليل التلوث وعدم تطابق الشبكة:إن استخدام السيليكون عالي النقاء لكل من قاعدة السيليكون والقارب يزيل احتمالية التلوث من مواد مختلفة، مما يضمن بيئة معالجة نقية للرقائق. كما يقلل توافق المواد هذا أيضًا من مخاطر عدم تطابق الشبكة في واجهة قارب الرقاقة، مما يساهم بشكل أكبر في تحسين جودة البلورة وتقليل كثافات العيوب.