حامل الويفر

تم تصميم حامل رقاقة Semicorex ببراعة باستخدام نواة مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء ومغطاة بدقة بكربيد السيليكون (SiC) لتلبية المتطلبات الصعبة لمعدات Liquid Phase Epitaxy (LPE). يعد تصميمها واختيار المواد أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة الرقائق أثناء عمليات درجات الحرارة المرتفعة المتأصلة في تصنيع أشباه الموصلات.

يُظهر حامل رقائق الجرافيت المطلي بطبقة SiC مقاومة رائعة للتآكل والتمزق، وهي خاصية حيوية للحفاظ على الأبعاد الدقيقة وجودة السطح المطلوبة للتعامل الأمثل مع الرقائق. في عمليات LPE، تعتبر سلامة سطح حامل الرقاقة أمرًا بالغ الأهمية، حيث أن أي تدهور أو تفاوت قد يؤدي إلى عيوب في الرقاقة، مما يؤدي إلى انخفاض الإنتاج وزيادة النفايات. يضمن طلاء SiC أن يحافظ حامل الويفر على سطح أملس وثابت على مدار الدورات المتكررة، مما يساهم في الموثوقية الشاملة والاتساق في العملية الفوقية.

علاوة على ذلك، فإن طلاء SiC يعزز الأداء الحراري لحامل الويفر. تضمن الموصلية الحرارية العالية لكربيد السيليكون توزيعًا متساويًا للحرارة عبر الرقاقة أثناء عملية الفوق، وهو أمر ضروري لمنع التدرجات الحرارية التي قد تسبب تزييف الرقاقات أو تشققها. وهذا يضمن أن المنتجات النهائية تلبي معايير الجودة الصارمة المطلوبة في تصنيع أشباه الموصلات. إن الجمع بين الخصائص الحرارية المتأصلة للجرافيت مع المزايا الإضافية لطلاء SiC يخلق حامل بسكويت الويفر قادرًا على تحمل البيئات الحرارية الأكثر تحديًا.

تم تحسين تصميم حامل الويفر لتطبيقه في معدات LPE. تم تصنيع حامل الرقاقة بدقة لاستيعاب الرقاقات بشكل آمن، مما يقلل من خطر الحركة أو عدم المحاذاة أثناء عملية النفوق. تعتبر هذه الدقة أمرًا بالغ الأهمية، حيث أن أدنى تغيير في موضع الرقاقة يمكن أن يؤدي إلى ترسيب غير متساوٍ، مما يؤثر على أداء أجهزة أشباه الموصلات التي يتم تصنيعها. يوفر حامل رقائق الجرافيت المطلي بطبقة SiC الاستقرار اللازم، مما يضمن بقاء الرقائق في الموضع الصحيح طوال العملية بأكملها.

                                                        هيكل LEP، من LPE