منتجات
سخانات aln
  • سخانات alnسخانات aln

سخانات aln

سخانات Semicorex ALN هي عناصر تسخين متقدمة تستند إلى السيراميك المصممة للتطبيقات الحرارية عالية الأداء. توفر هذه السخانات الموصلية الحرارية الاستثنائية والعزل الكهربائي ومقاومة الإجهاد الكيميائي والميكانيكي ، مما يجعلها مثالية للمطالبة بالتطبيقات الصناعية والعلمية. توفر سخانات ALN تسخينًا دقيقًا وموحدًا ، مما يضمن الإدارة الحرارية الفعالة في البيئات التي تتطلب موثوقية ومتانة عالية.*

إرسال استفسار

وصف المنتج

سخانات Semicorex ALN لـ Semiconductor هو جهاز يستخدم لتدفئة مواد أشباه الموصلات. إنه مصنوع بشكل رئيسي مننيتريد الألومنيوم السيراميكالمواد ، لديها الموصلية الحرارية الممتازة ومقاومة درجة الحرارة العالية ، ويمكن أن تعمل بشكل ثابت في درجات حرارة عالية. يستخدم المدفأة عادة سلك المقاومة كعنصر تسخين. عن طريق تنشيط سلك المقاومة للتسخين ، يتم نقل الحرارة إلى سطح السخان لتحقيق تسخين مادة أشباه الموصلات. تلعب سخانات ALN لأشباه الموصلات دورًا مهمًا في عملية إنتاج أشباه الموصلات ويمكن استخدامها في عمليات مثل نمو البلورة والصلصة والخبز.


في العملية الأمامية (FEOL) لتصنيع أشباه الموصلات ، يجب إجراء علاجات العمليات المختلفة على الرقاقة ، وخاصة تسخين الرقاقة لدرجة حرارة معينة ، وهناك متطلبات صارمة ، لأن توحيد درجة الحرارة له تأثير مهم للغاية على إنتاج المنتج ؛ في الوقت نفسه ، يجب أن تعمل معدات أشباه الموصلات أيضًا في بيئة حيث توجد الفراغ والبلازما والغازات الكيميائية ، مما يتطلب استخدام سخانات السيراميك (سخان السيراميك). سخانات السيراميك هي مكونات مهمة لمعدات ترسب الأفلام الرقيقة أشباه الموصلات. يتم استخدامها في غرفة العملية واتصل مباشرة بالرقاقة لحمل وتمكين الرقاقة من الحصول على درجة حرارة عملية مستقرة وموحدة وتفاعل وتوليد أفلام رقيقة على سطح الرقاقة بدقة عالية.


تستخدم معدات ترسب الأفلام الرقيقة لسخانات السيراميك مواد سيراميك بناءًنيتريد الألومنيوم (ALN)بسبب ارتفاع درجات الحرارة المعنية. نيتريد الألومنيوم له عزل كهربائي وموصلية حرارية ممتازة. بالإضافة إلى ذلك ، فإن معامل التوسع الحراري الخاص به قريب من معامل السيليكون ، ويحتوي على مقاومة ممتازة للبلازما ، مما يجعله مناسبًا جدًا للاستخدام كمكون لجهاز أشباه الموصلات.


تشمل سخانات ALN قاعدة من السيراميك التي تحمل الرقاقة ، وجسم دعم أسطواني يدعمها على ظهرها. داخل أو على سطح قاعدة السيراميك ، بالإضافة إلى عنصر المقاومة (طبقة التدفئة) للتدفئة ، يوجد أيضًا قطب RF (طبقة RF). من أجل تحقيق التدفئة والتبريد السريع ، يجب أن يكون سمك قاعدة السيراميك نحيفًا ، لكن رقيقة جدًا سيقلل أيضًا من الصلابة. يتكون الجسم الدعم لسخانات ALN بشكل عام من مادة ذات معامل تمدد حراري مماثل لمعامل القاعدة ، لذلك غالبًا ما يكون جسم الدعم مصنوعًا أيضًا من نيتريد الألمنيوم. تتبنى سخانات ALN بنية فريدة من قاع مفصل العمود (عمود) لحماية المحطات والأسلاك من آثار البلازما والغازات الكيميائية المسببة للتآكل. يتم توفير مدخل غاز نقل الحرارة وأنبوب المخرج في جسم الدعم لضمان درجة حرارة موحدة للسخان. يتم ربط القاعدة وجسم الدعم كيميائيًا بطبقة الترابط.


يتم دفن عنصر تسخين المقاومة في قاعدة السخان. يتم تشكيله عن طريق طباعة الشاشة مع عجينة موصلة (التنغستن ، الموليبدينوم أو tantalum) لتشكيل نمط دائرة حلزوني أو متحدة المركز. بالطبع ، يمكن أيضًا استخدام الأسلاك المعدنية ، شبكة معدنية ، رقائق معدنية ، إلخ. عند استخدام طريقة طباعة الشاشة ، يتم تحضير لوحين من السيراميك من نفس الشكل ، ويتم تطبيق العجينة الموصلة على سطح أحدهما. بعد ذلك ، يتم التثبت لتشكيل عنصر تسخين مقاوم ، ويتداخل اللوحة الخزفية الأخرى بعنصر التدفئة المقاوم لجعل عنصر المقاوم مدفون في القاعدة.

العوامل الرئيسية التي تؤثر على الموصلية الحرارية لسيراميك نيتريد الألومنيوم هي كثافة الشبكة ، ومحتوى الأكسجين ، ونقاء المسحوق ، والبنية المجهرية ، وما إلى ذلك ، والتي ستؤثر على الموصلية الحرارية لسيراميك نيتريد الألومنيوم.


الكلمات الساخنة: سخانات ALN ، الصين ، الشركات المصنعة ، الموردين ، المصنع ، مخصص ، الجزء الأكبر ، المتقدم ، المتين
الفئة ذات الصلة
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept