سخانات نيتريد الألومنيوم

سخانات نيتريد الألومنيوم من شبه ألومنيوم هي عناصر التدفئة الخزفية الحديثة المصممة للتطبيقات التي تتطلب الموصلية الحرارية العالية ، والعزل الكهربائي ، والمتانة الاستثنائية. هذه السخانات التي تم تصميمها من السيراميك من نيتريد الألومنيوم ، توفر تسخينًا سريعًا وموحدًا ، مما يجعلها مثالية للبيئات ذات الدقة العالية مثل معالجة أشباه الموصلات ، والتشخيص الطبي ، والأدوات التحليلية المتقدمة.

سخانات نيتريد الألومنيوم هي مكونات رئيسية في معدات ترسب الأفلام الرقيقة أشباه الموصلات. يتم تطبيقها مباشرة على غرفة العملية وعلى اتصال مباشر مع الرقاقة. لا يحملون الويفر فحسب ، بل يضمنون أيضًا أن يحصل الويفر 

درجة حرارة عملية مستقرة وموحدة. هذه الميزة ضرورية لردود الفعل عالية الدقة على سطح الرقاقة وتوليد الأفلام الرقيقة الموحدة.

عادةً ما تتضمن سخانات نيتريد الألومنيوم ركيزة من السيراميك مع سطح تحميل رقاقة وجسم دعم أسطواني يدعمه على الظهر. بالإضافة إلى دائرة تسخين مقاومة للتدفئة ، يتم أيضًا توفير قطب كهربائي RF والقطب الكهروستاتيكي والموصلات الأخرى داخل أو على سطح الركيزة الخزفية.

عادةً ما تستخدم معدات ترسب الأفلام الرقيقة مواد سيراميك استنادًا إلىنيتريد الألومنيوم (ALN)لأنه ينطوي على بيئة عالية الحرارة. إن السبب وراء تفضيل سخانات نيتريد الألومنيوم في تصنيع أشباه الموصلات يرجع بشكل أساسي إلى خصائصها الفيزيائية والكيميائية الفريدة. لا يحتوي نيتريد الألومنيوم على توصيل حراري عالي ويمكنه تحقيق التدفئة والتبريد السريع في وقت قصير ، ولكن لديه أيضًا عزل كهربائي جيد وقوة ميكانيكية ، مما يضمن استقرار وموثوقية المدفأة. بالإضافة إلى ذلك ، فإن معامل التمدد الحراري لنيتريد الألومنيوم يشبه معامل السيليكون ، مما يساعد على تقليل تأثير الإجهاد الحراري على الرقاقة وتحسين محصول العملية.

بشكل عام ،سخانات السيراميكتستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة. نظرًا لأنه يتضمن عمليات درجات الحرارة العالية ، فإن المواد الخزفية المستخدمة هي أساسًا نيتريد الألومنيوم ؛ تستخدم الخنازير الإلكتروستاتيكية بشكل أساسي في معدات الحفر ، والمواد الخزفية المستخدمة هي بشكل أساسي أكسيد الألومنيوم. مع تطوير تكنولوجيا أشباه الموصلات ، هناك تداخل بين سخانات السيراميك والخطايا الإلكتروستاتيكية. على سبيل المثال ، تم تجهيز سخانات السيراميك المستخدمة في معدات ترسب الأفلام الرفيعة مع الخنازير الإلكتروستاتيكية ، والتي لها وظائف مزدوجة للتدفئة عالية درجة الحرارة والامتصاص الإلكتروستاتيكي. تبدأ الخنازير الإلكتروستاتيكية المستخدمة في معدات الحفر أيضًا في إشراك عمليات درجات الحرارة العالية ، ويجب تغيير المادة الخزفية من أكسيد الألومنيوم إلى نيتريد الألومنيوم.