حاملة الويفر السيراميكية

يتمتع حامل الويفر الخزفي من كربيد السيليكون بمقاومة جيدة للتآكل ومقاومة ممتازة لدرجات الحرارة المرتفعة والصدمات الحرارية. علاوة على ذلك، يؤدي معامل المرونة العالي إلى استقرار الأبعاد الممتاز. بالإضافة إلى ذلك، هناك مسامية صفرية وكثافة مسامية منخفضة للمادة الخزفية.
يمكننا معالجة جميع أنواع حاملات الويفر الخزفية حسب متطلبات العملاء.

معلمات حاملة الويفر الخزفية

أنتجت شركة Semicorex حاملة الرقائق الخزفية في ثلاثة أشكال، كربيد السيليكون الملبد التفاعلي (RBSiC)، وكربيد السيليكون الملبد عديم الضغط (SSiC) وكربيد السيليكون المعاد تدويره (R-SiC).

الفرق بين SSiC و RBSiC:

1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.

2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.

3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC

مميزات حامل الويفر الخزفي

جرافيت عالي النقاء مطلي بـ SiC
مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.

الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكون:

● قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك

● أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / غلاف سيراميك

● حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / فاصل سيراميك

● قرص سيراميك

● لوح سيراميك / كتلة سيراميك

● كرة سيراميكية

● مكبس سيراميك

● فوهة من السيراميك

● بوتقة سيراميكية

● أجزاء أخرى من السيراميك حسب الطلب