توفر Semicorex سيراميك من درجة أشباه الموصلات لأدوات تصنيع المعدات الأصلية ومكونات معالجة الرقائق التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا مُصنِّعًا وموردًا لناقلات بسكويت الويفر من السيراميك لسنوات عديدة. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تتميز حاملة بسكويت الويفر المصنوعة من كربيد السيليكون بمقاومة جيدة للتآكل ومقاومة ممتازة لدرجات الحرارة المرتفعة والصدمات الحرارية. علاوة على ذلك ، ينتج عن معامل المرونة العالي ثبات ممتاز في الأبعاد. بالإضافة إلى ذلك ، هناك مسامية صفرية وكثافة مسام منخفضة لمادة السيراميك.
يمكننا معالجة جميع أنواع حاملات بسكويت الويفر الخزفية وفقًا لمتطلبات العملاء.
معلمات حامل بسكويت الويفر الخزفي
الخصائص التقنية |
||||
فِهرِس |
وحدة |
قيمة |
||
اسم المادة |
تفاعل كربيد السيليكون المتكلس |
كربيد السيليكون متكلس الضغط |
كربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
تعبير |
RBSiC |
SSiC |
R- سيك |
|
الكثافة الظاهرية |
ز / سم 3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60 - 2.70 |
قوة العاطفة |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية) |
قوة الضغط |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
صلابة |
كنوب |
2700 |
2800 |
/ |
كسر المثابرة |
ميجا باسكال م 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
توصيل حراري |
ث / عضو الكنيست |
95 |
120 |
23 |
معامل التمدد الحراري |
10-6.1 / درجة مئوية |
5 |
4 |
4.7 |
حرارة نوعية |
جول / ز 0 ك |
0.8 |
0.67 |
/ |
أقصى درجة حرارة في الهواء |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
معامل المرونة |
المعدل التراكمي |
360 |
410 |
240 |
أنتجت Semicorex حوامل بسكويت الويفر الخزفية بثلاثة أشكال ، كربيد السيليكون الملبد المتفاعل (RBSiC) ، كربيد السيليكون الملبد غير المضغوط (SSiC) وكربيد السيليكون Recrystal (R-SiC).
الفرق بين SSiC و RBSiC:
1. عملية التكلس مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة ، ويتكون SSiC من الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.
2. SSiC لديها سطح أكثر نعومة ، كثافة أعلى وقوة أعلى ، بالنسبة لبعض المواد المانعة للتسرب بمتطلبات سطح أكثر صرامة ، فإن SSiC سيكون أفضل.
3. وقت استخدام مختلف تحت درجة حرارة ودرجة حرارة مختلفة ، يكون SSiC أطول من RBSiC
ميزات حامل بسكويت الويفر الخزفي
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.
الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكونï¼
â قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك
أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / جلبة سيراميك
حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / مباعد سيراميك
â قرص سيراميك
â لوح سيراميك / كتلة سيراميك
â كرة سيراميك
• مكبس سيراميك
فوهة من السيراميك
بوتقة خزفية
â أجزاء السيراميك المخصصة الأخرى