غطاء غرفة كربيد السيليكون

يجب أن يتحمل غطاء غرفة كربيد السيليكون المستخدم في نمو البلورات ومعالجة مناولة الرقائق درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد على نطاق واسع لمقبض الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

إرسال استفسار

وصف المنتج

يجب أن يتحمل غطاء غرفة كربيد السيليكون المستخدم في نمو بلوري واحد أو MOCVD ، أو معالجة مناولة الرقائق درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. تزود Semicorex ببناء الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) الذي يوفر مقاومة فائقة للحرارة ، وحتى التوحيد الحراري من أجل سماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة ، ومقاومة كيميائية دائمة. إنها متينة لتجربة مزيج من الغازات السليفة المتطايرة والبلازما ودرجة الحرارة المرتفعة.
تم تصميم غطاء غرفة كربيد السيليكون لدينا لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن غطاء غرفة كربيد السيليكون.

معلمات غطاء غرفة كربيد السيليكون

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300