غطاء غرفة كربيد السيليكون

يجب أن يتحمل غطاء غرفة كربيد السيليكون المستخدم في نمو البلورات ومعالجة الرقاقات درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي. Semicorex هي شركة مصنعة وموردة واسعة النطاق لمستقبل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

إرسال استفسار

وصف المنتج

غطاء غرفة كربيد السيليكون المستخدم في نمو بلوري واحد أو MOCVD، أو معالجة معالجة الرقاقة يجب أن يتحمل درجات الحرارة العالية والتنظيف الكيميائي القاسي. يوفر Semicorex هيكل جرافيت مطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) يوفر مقاومة فائقة للحرارة، حتى التوحيد الحراري لسمك طبقة epi المتسقة والمقاومة، ومقاومة كيميائية متينة. إنها متينة لتجربة مزيج من الغازات الأولية المتطايرة والبلازما ودرجات الحرارة المرتفعة.
تم تصميم غطاء حجرة كربيد السيليكون الخاص بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفائحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن غطاء غرفة كربيد السيليكون الخاص بنا.

معلمات غطاء غرفة كربيد السيليكون

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300