مجداف ناتئ SiC مخصص

يعمل مجداف Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle كحلقة وصل مهمة بين نظام تحميل الرقاقات وقلب فرن الانتشار، وهو المسؤول عن نقل قوارب الكوارتز أو SiC المحملة برقائق السيليكون إلى منطقة المعالجة ذات درجة الحرارة العالية. تم تحسين تصميمها وخصائصها المادية بدقة لهذه المهمة الصعبة:

هيكل ناتئ قوي لنقل الرقاقات المستقرة:يوفر التصميم الكابولي، الذي يتميز بذراع صلب يمتد داخل الفرن، ثباتًا استثنائيًا وتحكمًا دقيقًا في حركة الرقاقة. وهذا يضمن نقلًا سلسًا وخاليًا من الاهتزازات، مما يقلل من مخاطر كسر الرقاقة أو سوء المحاذاة أثناء التحميل والتفريغ.

سعة تحميل عالية لمعالجة الدفعات بكفاءة:تسمح القوة والصلابة المتأصلة في سيراميك SiC لمجداف الكابولي المخصص من SiC باستيعاب الأحمال الثقيلة من رقائق السيليكون، مما يزيد من إنتاجية كل دورة نشر ويساهم في زيادة أحجام الإنتاج.

التحكم الدقيق في الأبعاد للتكامل السلس: تم تصنيع المجداف الكابولي المخصص من SiC بدقة وفقًا لمواصفات الأبعاد الدقيقة، مما يضمن توافقًا مثاليًا داخل نظام أفران الانتشار وتسهيل التكامل السلس مع الروبوتات الآلية للتعامل مع الرقاقات.

اختيار سيراميك SiC على وجه التحديدرد فعل المستعبدين كربيد السيليكون (RBSiC)وكربيد السيليكون الملبد (SSiC)، نظرًا لأن المادة المفضلة لمجداف الكابولي المخصص من SiC تنبع من خصائص أدائها الاستثنائية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية:

استقرار لا يتزعزع في درجات الحرارة العالية: يُظهر مجداف الكابولي المخصص من SiC مقاومة استثنائية للتشوه والزحف حتى في درجات الحرارة المرتفعة (حتى 1600 درجة مئوية) الموجودة داخل أفران الانتشار. وهذا يضمن دعمًا ثابتًا للرقاقة ويمنع الترهل أو الانحناء الذي قد يؤثر على تجانس الرقاقة.

مقاومة استثنائية للصدمات الحرارية:تعد القدرة على تحمل التحولات السريعة في درجات الحرارة دون حدوث ضرر أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة Custom SiC Cantilever Paddle عبر دورات نشر لا حصر لها. تتفوق سيراميك SiC في هذا الصدد، مما يقلل من مخاطر التشقق أو الكسر الذي قد يؤدي إلى فترات توقف مكلفة.

تمدد حراري منخفض للمحاذاة الدقيقة:يضمن الحد الأدنى من التمدد الحراري لسيراميك SiC أن يحافظ Custom SiC Cantilever Paddle على ثبات الأبعاد عبر نطاقات درجات الحرارة الواسعة التي يتم تجربتها أثناء التشغيل. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على محاذاة دقيقة للرقاقة داخل الفرن، مما يضمن تسخينًا موحدًا وملامح انتشار متسقة.