حلقات أرضية علوية مطلية بـ CVD SiC

الأمراض القلبية الوعائية كربيدعادةً ما يتم تثبيت الحلقات الأرضية العلوية المطلية في المنطقة العلوية من غرفة التفاعل في معدات حفر البلازما، المحيطة بظرف الرقاقة الكهروستاتيكية. تعتبر الحلقات الأرضية العلوية المطلية بـ CVD SiC حيوية لنظام النقش بأكمله، والذي يمكن أن يكون بمثابة حاجز مادي لحماية مكونات الجهاز من هجوم البلازما وضبط المجال الكهربائي الداخلي وحصر نطاق توزيع البلازما لضمان نتائج نقش موحدة.

النقش بالبلازما هي تقنية النقش الجاف المستخدمة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات، والتي تعمل من خلال استخدام التفاعلات الفيزيائية والكيميائية بين البلازما وسطح مواد أشباه الموصلات لإزالة مناطق محددة بشكل انتقائي، وبالتالي تحقيق معالجة الهياكل الدقيقة. في بيئة الحفر بالبلازما الصعبة، تسبب البلازما عالية الطاقة تآكلًا شديدًا وهجومًا على المكونات الموجودة داخل غرفة التفاعل. لضمان التشغيل الموثوق والفعال، يجب أن تتمتع مكونات الغرفة بمقاومة ممتازة للتآكل، وخواص ميكانيكية، وخصائص تلوث منخفضة. تم تصميم الحلقات الأرضية العلوية المطلية بطبقة سيميكوركس CVD SiC بشكل مثالي لمعالجة بيئات التشغيل القاسية عالية التآكل.

طلاء CVD SiC موثوق به

للحصول على أداء أفضل في ظروف الحفر القاسية، يتم تغطية الحلقات الأرضية العلوية المطلية بـ CVD SiC من Semicorex بطبقة CVD SiC عالية الأداء، مما يعزز أدائها ومتانتها.

1. نقاء فائق

الطلاء سيكتتميز عملية تصنيعها عبر عملية CVD بتكثيف ممتاز مع درجة نقاء عالية للغاية (تتجاوز درجة النقاء 99.9999%)، والتي يمكن أن تمنع حلقات الأرض العلوية المطلية بـ Semicorex CVD SiC من هجوم البلازما عالية الطاقة في تطبيقات الحفر، وبالتالي تجنب التلوث الناجم عن جسيمات الشوائب من المصفوفات.

2. تحسين مقاومة التآكل

يوفر طلاء SiC المُصنع عبر عملية CVD مقاومة محسنة للتآكل، مما يجعل حلقات الأرض العلوية المطلية بـ CVD SiC من Semicorex تتحمل بشكل فعال التآكل الصعب الناتج عن البلازما (خاصة الغازات المسببة للتآكل مثل الهالوجينات والفلور).

3. تعزيز الخصائص الميكانيكية

يمكن للحلقات الأرضية العلوية المطلية بـ CVD SiC من Semicorex أن تتحمل قصف البلازما المكثف والضغط الميكانيكي والتعامل المتكرر دون تشوه أو كسر أثناء الخدمة طويلة المدى بفضل الصلابة المعززة ومقاومة التآكل لطلاء CVD SiC.

معالجة عالية المستوى وفحص الجودة

للتكيف بشكل مثالي مع ظروف نقش أشباه الموصلات الصعبة، تخضع الحلقات الأرضية العلوية المطلية بطبقة SiC من Semicorex CVD إلى تصنيع دقيق وفحص صارم.

المعالجة السطحية: دقة التلميع هي Ra <0.1μm؛ دقة الطحن الدقيقة هي Ra > 0.1μm

يتم التحكم في دقة المعالجة ضمن ≥ 0.03 مم

فحص الجودة:

تخضع حلقات Semicorex الصلبة CVD SiC لتحليل ICP-MS (قياس الطيف الكتلي للبلازما المقترنة حثيًا). تخضع حلقات CVD SiC الصلبة من Semicorex لقياس الأبعاد واختبار المقاومة والفحص البصري، مما يضمن خلو المنتجات من الرقائق والخدوش والشقوق والبقع والعيوب الأخرى.