حلقات تركيز متينة لمعالجة أشباه الموصلات

تم تصميم حلقات التركيز المتينة من Semicorex لمعالجة أشباه الموصلات لتحمل البيئات القاسية لغرف حفر البلازما المستخدمة في معالجة أشباه الموصلات. حلقات التركيز الخاصة بنا مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء المطلي بطبقة كثيفة من كربيد السليكون المقاوم للتآكل (SiC). يتميز طلاء SiC بخصائص مقاومة التآكل والحرارة العالية ، فضلاً عن التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتحسين عمر خدمة حلقات التركيز لدينا.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تم تصميم حلقات التركيز المتينة الخاصة بنا لمعالجة أشباه الموصلات لتحسين اتساق الحفر حول حافة الرقاقة أو المحيط ، وتقليل التلوث والصيانة غير المجدولة. إنها مستقرة للغاية للتلدين الحراري السريع (RTA) والمعالجة الحرارية السريعة (RTP) والتنظيف الكيميائي القاسي.

في Semicorex ، نركز على توفير حلقات تركيز متينة عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لمعالجة أشباه الموصلات ، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلقات التركيز المتينة الخاصة بنا لمعالجة أشباه الموصلات.

معلمات حلقات التركيز المتينة لمعالجة أشباه الموصلات

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300