توفر Semicorex قوارب الويفر والركائز وحاملات الويفر المخصصة لكل من التكوينات الرأسية / العمودية والأفقية. لقد كنا الشركة المصنعة والموردة لفيلم طلاء كربيد السيليكون لسنوات عديدة. يتمتع قارب الويفر الفوقي الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
يعتبر قارب الويفر Semicorex Epitaxial الحل الأمثل لمعالجة الرقاقات في صناعة أشباه الموصلات. قوارب الويفر الفوقي الخاصة بنا مصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون عالي الجودة الذي يوفر مقاومة فائقة لدرجات الحرارة المرتفعة والتآكل الكيميائي.
يتميز قارب الويفر الفوقي المصنوع من كربيد السيليكون بسطح أملس يقلل من توليد الجسيمات، مما يضمن أعلى مستوى من النقاء لمنتجاتك. بفضل الموصلية الحرارية الممتازة والقوة الميكانيكية الفائقة، توفر قواربنا نتائج متسقة وموثوقة.
تتوافق قوارب الويفر الفوقي الخاصة بنا مع جميع معدات معالجة الويفر القياسية ويمكنها تحمل درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية. فهي سهلة التعامل والتنظيف، مما يجعلها خيارًا فعالاً من حيث التكلفة وفعالاً لاحتياجات التصنيع الخاصة بك.
يلتزم فريق الخبراء لدينا بتقديم أفضل جودة وخدمة. نحن نقدم تصميمات مخصصة لتلبية متطلباتك المحددة، ويتم دعم منتجاتنا من خلال برنامج ضمان الجودة الخاص بنا.
معلمات قارب الرقاقة الفوقي
الخصائص التقنية |
||||
فِهرِس |
وحدة |
قيمة |
||
اسم المادة |
رد فعل متكلس كربيد السيليكون |
كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط |
كربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
تعبير |
RBSiC |
SSIC |
آر-سيك |
|
الكثافة الظاهرية |
جم/سم3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
قوة الانحناء |
ميغاباسكال (كبسي) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية) |
قوة ضاغطة |
ميغاباسكال (كبسي) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
صلابة |
زر |
2700 |
2800 |
/ |
كسر المثابرة |
ميجاباسكال م1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
الموصلية الحرارية |
ث/م.ك |
95 |
120 |
23 |
معامل التمدد الحراري |
10-6.1/درجة مئوية |
5 |
4 |
4.7 |
حرارة محددة |
جول / جم 0 ك |
0.8 |
0.67 |
/ |
أقصى درجة حرارة في الهواء |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
معامل مرن |
المعدل التراكمي |
360 |
410 |
240 |
الفرق بين SSiC و RBSiC:
1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.
2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.
3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC
مميزات قارب الرقاقة الفوقي من كربيد السيليكون
عالية النقاء SiC مغلفة بـ MOCVD
مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.