حلقة مدخل الغاز لمعدات أشباه الموصلات

Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد على نطاق واسع لمقبض الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات epitaxy. تتميز حلقة مدخل الغاز الخاصة بنا لمعدات أشباه الموصلات بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

حلقة مدخل غاز Semicorex لمعدات أشباه الموصلات مطلية بـ SiC ، وهي عبارة عن طلاء كثيف ومقاوم للاهتراء من كربيد السيليكون (SiC). تتميز بخصائص مقاومة التآكل والحرارة العالية بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

تم تصميم حلقة مدخل الغاز الخاصة بنا لمعدات أشباه الموصلات لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلقة مدخل الغاز الخاصة بنا لمعدات أشباه الموصلات.

معلمات حلقة مدخل الغاز لمعدات أشباه الموصلات

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300