حلقة مدخل الغاز لمعدات أشباه الموصلات

Semicorex هي شركة مصنعة وموردة واسعة النطاق لمستقبل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات الفوقية. تتميز حلقة مدخل الغاز الخاصة بنا لمعدات أشباه الموصلات بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

إن حلقة مدخل الغاز Semicorex لمعدات أشباه الموصلات مطلية بـ SiC، وهي عبارة عن طلاء كثيف ومقاوم للتآكل من كربيد السيليكون (SiC). يتميز بخصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

تم تصميم حلقة مدخل الغاز الخاصة بمعدات أشباه الموصلات لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الصفحي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلقة مدخل الغاز لمعدات أشباه الموصلات.

معلمات حلقة مدخل الغاز لمعدات أشباه الموصلات

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجاباسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300