مجداف ناتئ SiC عالي النقاء

يتم تصنيع المجداف الكابولي Semicorex عالي النقاء من SiC بواسطةسيراميك كربيد السيليكون، بشكل عام SiSiC. وهو عبارة عن كربيد السيليكون الذي يتم إنتاجه عن طريق عملية تسلل السيليكون، وهي عملية تعطيسيراميك كربيد السيليكونالمواد أفضل قوة وأداء. تم تسمية المجداف الكابولي SiC عالي النقاء بشكله، وهو عبارة عن شريط طويل، مع مروحة جانبية. تم تصميم الشكل لدعم قوارب الويفر الأفقية في الفرن ذو درجة الحرارة العالية.

يتم استخدامه بشكل رئيسي في الأكسدة، الانتشار، RTA/RTP في عملية تصنيع أشباه الموصلات. وبالتالي فإن الغلاف الجوي يتكون من الأكسجين (الغاز التفاعلي)، والنيتروجين (غاز الدرع)، وكمية صغيرة من كلوريد الهيدروجين. درجة الحرارة حوالي 1250 درجة مئوية. لذلك فهي بيئة أكسدة ذات درجة حرارة عالية. إنه يتطلب الجزء في هذه البيئة المقاومة للأكسدة ويمكن أن يقف تحت درجة حرارة عالية.

تم تصنيع المجداف الكابولي SiC عالي النقاء من Semicorex بطباعة ثلاثية الأبعاد، لذلك فهو عبارة عن قالب من قطعة واحدة، ويمكنه تلبية المتطلبات العالية للحجم والمعالجة. سيتم تصنيع المجداف الكابولي من جزأين، الجسم وطلاءه، ويمكن لـ Semicorex توفير محتوى الشوائب <300pm للجسم، و<5ppm لطلاء CVD SiC. وبالتالي فإن السطح عالي النقاء للغاية لمنع إدخال الشوائب والملوثات. كما أن المادة ذات مقاومة عالية للصدمات الحرارية، للحفاظ على الشكل لفترة طويلة.

تقوم شركة Semicorex بعملية تصنيع ثمينة جدًا. فيما يتعلق بجسم SiC، نقوم بتحضير المواد الخام أولاً وخلط مسحوق SiC، ثم نقوم بالقالب والتصنيع إلى الشكل النهائي، بعد ذلك سنقوم بتلبيد الجزء لتحسين الكثافة والعديد من الخصائص الكيميائية. يتم تشكيل الجسم الرئيسي وسنقوم بفحص السيراميك نفسه وتلبية متطلبات الأبعاد. بعد ذلك سنقوم بالتنظيف المهم. ضع المجداف الكابولي المؤهل في معدات الموجات فوق الصوتية للتنظيف لإزالة الغبار والزيت على السطح. بعد التنظيف، ضع المجداف الكابولي عالي النقاء من SiC في فرن التجفيف واخبزه عند درجة حرارة 80-120 درجة مئوية لمدة 4-6 ساعات حتى يجف الماء.

ثم يمكننا أن نفعل طلاء الأمراض القلبية الوعائية على الجسم. درجة حرارة الطلاء هي 1200-1500 درجة مئوية، ويتم اختيار منحنى التسخين المناسب. عند درجة حرارة عالية، يتفاعل مصدر السيليكون ومصدر الكربون كيميائيًا لتوليد جزيئات SiC بمقياس النانو. يتم ترسيب جزيئات SiC بشكل مستمر على سطح

جزء لتشكيل طبقة رقيقة كثيفة من SiC. سمك الطلاء بشكل عام هو 100±20μm. بعد الانتهاء، سيتم تنظيم الفحص النهائي للمنتجات، لمظهر المنتجات، النقاء والأبعاد، وما إلى ذلك.