مجداف سيراميك SiC

يعد المجداف الخزفي Semicorex SiC جزءًا متقدمًا تم تطويره لتطبيقات أفران أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية مثل الأكسدة والانتشار. يعمل المجداف كدعامة ناتئية لتثبيت الرقائق وتحريكها عند درجات حرارة عالية. يوفر مجداف السيراميك Semicorex SiC مكونات سيراميك عالية النقاء وعالية القوة للعمليات ذات درجات الحرارة العالية التي تتطلب الموثوقية والاستقرار والأداء المطلوب خلال عملية الإنتاج.

يتم إنتاج المجاذيف من درجة نقاء عاليةكربيد السيليكون (SiC)، تم تصميمه خصيصًا لتحمل البيئات الحرارية والكيميائية القاسية لعملية تصنيع أشباه الموصلات. عندما تتم معالجة الرقاقات من خلال الأكسدة والانتشار، تتعرض الرقاقة لدرجات حرارة تزيد عن 1000 درجة مئوية، بالإضافة إلى الغازات التفاعلية مثل الأكسجين أو البخار أو الأجواء المشابهة. عند درجات الحرارة هذه، تعتمد السلامة الهيكلية على نقاء المادة.

من الخصائص المهمة الأخرى لمجاديف السيراميك SiC هو أدائها الرائع في درجات الحرارة المرتفعة. بسبب نقطة انصهار SiC البالغة 2700+ درجة مئوية، تحتفظ المجاذيف بالقوة والثبات الميكانيكي عند تعرضها لدرجة حرارة عالية.

بيراتس مع مرور الوقت. تحد الخاصية الحرارية من تزييف المادة وتشققها أثناء دورات التسخين والتبريد المتكررة مع توفير عمر خدمة طويل في بيئات الإنتاج.

تتطلب معالجة أشباه الموصلات بيئة فائقة النظافة نظرًا لأن الكميات الضئيلة من الشوائب يمكن أن تؤثر على إنتاجية الأجهزة وسلوكها. تحتوي مادة SiC المستخدمة في المجاذيف على طبقة SiC مرسبة بالبخار كيميائيًا (CVD) والتي تعزز درجة نقاء المواد العالية بشكل استثنائي مع تقليل التلوث المعدني. يظل مجداف السيراميك SiC نظيفًا ومستقرًا طوال عمره الافتراضي. نظرًا لأن الدعامات الكابولية، تحتاج المجاذيف إلى توفير دعم آمن لحاملات الرقاقات أو القوارب أثناء إدخالها وإزالتها من الفرن. بسببكربيد كربيدبفضل قوتها وصلابتها المتأصلة، فإنها تمتلك خصائص تحمل جيدة مع الحد الأدنى من الانحراف، وهو أمر ضروري للتعامل مع الرقاقة ومواءمتها بشكل صحيح. في أفران الأكسدة والانتشار، يمكن للأجواء المسببة للتآكل أن تهاجم المواد التقليدية وتحللها بمرور الوقت، لكن SiC لديه القدرة على الحفاظ على استقراره الكيميائي، مما يطيل العمر القابل للاستخدام للمجداف. يؤدي هذا إلى انخفاض كبير في تكاليف الصيانة والاستبدال، نظرًا لأن المجاذيف لا تحتاج إلى الاستبدال أو الإصلاح في كثير من الأحيان تقريبًا.

بالإضافة إلى الأداء، هناك مرونة في تخصيص المجاذيف لمعدات وعمليات محددة. يمكن جعل الأبعاد والتفاوتات والتشطيبات السطحية مرنة لضمان التوافق بين تصميمات الفرن وأي نظام آخر لمعالجة الرقاقات. إن القدرة على تحقيق درجات عالية من دقة الأبعاد من خلال التصنيع الدقيق للسيراميك ستسمح أيضًا بإنتاج المجاذيف لتلبية الأشكال الهندسية المعقدة. تهدف هذه المجموعة الكاملة من الميزات إلى توفير التشغيل السلس والتكامل السهل في خطوط الإنتاج الحالية.

سيراميك كربيد السيليكونتعتبر المجاذيف، بمزيجها من النقاء العالي والثبات الحراري والقوة الميكانيكية والمقاومة الكيميائية، مواد أساسية في عمليات أكسدة أشباه الموصلات ونشرها. ومن خلال توفير منصة مستقرة ونظيفة لنقل الرقاقات، فإنها تساهم بشكل مباشر في تحسين الإنتاجية واتساق العملية وكفاءة التصنيع بشكل عام.