المجاذيف كربيد السيليكون

تعد مجاذيف SiC مكونًا فريدًا من نوعه في الناقل، خصيصًا لنقل ودمج رقاقة أشباه الموصلات في عبء عمل دفعة واحدة في عمليات مثل الأكسدة والانتشار في درجات الحرارة العالية، من بين أمور أخرى. مصنوعة بنقاء عاليكربيد السيليكون، لأنه سيحافظ على الاستقرار الكيميائي عند درجات حرارة المعالجة التي تمنع إطلاق الغازات من الشوائب المعدنية أو الجسيمات من تلويث الرقاقة، مما يضمن إنتاجية مستقرة للرقاقة. أخيرا،المجاذيف ناتئكما أنها متوافقة مع أنظمة نقل الرقاقات المتكاملة، مما يقلل من الاعتماد على البشر ويزيد من الإنتاجية.

تعد مجاذيف SiC مكونًا فريدًا من نوعه في الناقل، خصيصًا لنقل ودمج رقاقة أشباه الموصلات في عبء عمل دفعة واحدة في عمليات مثل الأكسدة والانتشار في درجات الحرارة العالية، من بين أمور أخرى. مصنوعة بنقاء عاليكربيد السيليكون (SiC)توفر مجاذيف SiC الثبات الحراري والقوة الميكانيكية والمتانة الكيميائية لضمان النقل المستقر فوق درجات حرارة تصل إلى 1000 درجة مئوية. تعتبر مجاذيف SiC مطلوبة لمعالجة الرقاقات: فهي ستضمن إمكانية التعامل مع الركائز الهشة بشكل مناسب مع الحفاظ على السلامة والاتساق طوال عملية الأكسدة والانتشار والتليين.

تم تصميم مجاذيف SiC لتكون قوية وموثوقة، وهي عبارة عن ذراع ناتئ يحمل قوارب الويفر أو مداخن الويفر. يدعم المجداف الرقائق أثناء إدخالها أو إزالتها من غرفة المعالجة. تفشل المواد التقليدية عند درجات الحرارة المرتفعة هذه من خلال التشوه أو الالتواء أو التحلل الكيميائي. يسمح الاستقرار الميكانيكي والسلامة الهيكلية لكربيد السيليكون للمجداف بالبقاء على قيد الحياة بعد دورات حرارية متعددة دون فقدان الشكل أو الوظيفة. تعتبر هذه القدرة مهمة للحفاظ على محاذاة الفرن، وضمان عدم تلف الرقائق أثناء العملية، وتقليل وقت التوقف عن العمل باهظ الثمن.

ويكتمل الثبات الحراري لمجاديف SiC بمقاومتها الكيميائية الممتازة للغازات التفاعلية التي تظهر عادةً في عمليات الأكسدة والانتشار (مثل الأكسجين والكلور والأنواع العدوانية الأخرى في درجات الحرارة العالية). سيتم تدمير العديد من المواد أو تلويثها عند تعرضها لدرجة الحرارة العالية والأكسجين. كربيد السيليكون خامل كيميائيًا وبنيته المجهرية الكثيفة تضمن عدم حدوث تفاعلات كيميائية، مما يوفر السلامة الهيكلية للمجداف وبيئة نظيفة للرقاقة. يتم الاحتفاظ بمخاطر التلوث الناتجة عند الحد الأدنى بالنسبة لمصنعي أشباه الموصلات الذين يعملون في بعض نقاط العمليات الأكثر تقدمًا والتي يمكن أن تؤدي العناصر النزرة من التلوث فيها إلى إحداث تغييرات كبيرة في أداء الجهاز.

توفر السلامة الميكانيكية المرتبطة بمجاديف SiC أيضًا قيمة في عمليات المناولة. يتطلب الشكل الهيكلي الكابولي مادة يمكنها حمل أوزان أكوام الطبقات ولا تنثني أو تتدلى. معامل كربيد السيليكون العالي جدًا والصلابة العالية جدًا تجعله اعتبارًا جيدًا للوظيفة الهيكلية الميكانيكية المطلوبة. يحتفظ مجداف SiC بكل من التسطيح والهيكل حتى محملاً بالرقائق. وهذا يعني التحكم المستمر في الفرن وظروفه خلال فترات الإنتاج الطويلة.