قوارب فرن الغرفة الأفقية

تعد قوارب SIC أفقي Semicorex جزءًا كبيرًا من الهندسة التي تحمل ويحمل رقائق أو ركائز أثناء تعرضها للمعالجة الحرارية عالية الحرارة في فرن غرفة أفقي. قارب الرقاقة مصنوع من SIC عالي النقاء المستعبدين كربيد السيليكون (كذا)، والذي يوفر مزيجًا فريدًا من القوة ، والاستقرار الحراري ، والمقاومة الكيميائية العالية التي يتم طلبها في عمليات أشباه الموصلات ، والسيراميك الضوئي ، والسيراميك المتقدمة. يعمل قارب الرقاقة أيضًا كهيكل جامد لعقد رقائق في الموضع ، ولن تضيع استقرار الأبعاد ودقة الرقائق من خلال التعرض الممتد لدرجات حرارة العملية القصوى.

توفر الخصائص الفائقة لكربيد السيليكون لفرن الغرفة الأفقي ميزة أداء فائقة بالمقارنة مع المواد النموذجية لقوارب الرقاقة مثل الكوارتز أو الألومينا. يمكنهم تحسين دورات التدفئة والتبريد بشكل أفضل نادرة بسبب نقطة الانصهار العالية ، ومقاومة الصدمة الحرارية ، والقوة الميكانيكية ، بغض النظر عن سرعة التدفئة والتبريد أو أقصى الدورة الحرارية. نظرًا لأن الفرن الأفقي يعتمد بالكامل على اتساق مواقف الرقاقات والتعرض لظروف العملية ، فإن المحاذاة المناسبة للرقائق تنص على عائد عملية وتكرار ثابت. يعني المعامل المنخفض للتوسع الحراري أن القارب لن يشوه حياته ويوفر شكلًا محتجزًا وتباعد الرقاقات.

يوفر الهيكل الدقيق والكثيف لـ SIC إعادة التبلور مقاومة ملحوظة للأكسدة والتآكل والتلوث بواسطة غازات العملية والمنتجات الثانوية. هذا يجعل القارب مفيدًا بشكل خاص للعمليات في الأجواء العدوانية مثل الانتشار والأكسدة و LPCVD والصلصة. يتجنب الخمول الكيميائي العالي لـ SIC التفاعلات مع أسطح الرقاقة ، وبالتالي الحفاظ على نقاء المنتج وتقليل توليد الجسيمات في الفرن. يمكن أن تساعد قوارب SIC المصنعين الذين يحتاجون إلى تلبية متطلبات النظافة الصارمة ، مما يوفر بيئات معالجة أنظف وتحسين جودة الويفر.

يمكن إنتاج هذه القوارب مع مختلف الأشكال الهندسية المعقدة والأبعاد الخاصة بالجزء مع تقنيات الدقة والتكوين. تستخدم التصميمات عمومًا فتحات/أخاديد متوازية متعددة لعقد الرقصات بشكل آمن في اتجاه أفقي وتكشف بشكل موحد لسطح الرقاقة بأكمله إلى الظروف الحرارية. يمكن أيضًا تحسين تباعد الفتحة والفتحة والزوايا لتناسب رقائق أقطار أخرى ، مثل 150 مم ، 200 مم ، أو 300 مم ، وتدفق الهواء المباشر أثناء تأثيرات المعالجة مع استمرار تحقيق توحيد درجات الحرارة للمعالجة.

لا يمكن تصميم قوارب SIC أفقي الغرفة فقط في المغادرين القياسيين ، ولكن يمكن تصميمها للعمل مع اللوادر الويفر الآلية ، مما يؤدي إلى تكامل سلس في خطوط الإنتاج العالية الإنتاجية الحديثة. سيؤدي التصميم القوي أيضًا إلى جعل القوارب أقل عرضة للرقاقة أو الانهيار أثناء المناولة وتقليل وقت التوقف وتكاليف الاستبدال.

الموصلية الحرارية لكربيد السيليكونيمثل ميزة رئيسية أخرى تسهل نقل الحرارة الفعال بين الرقاقات وبيئة الفرن. الميزة هي أن الشركات المصنعة قادرة على تحقيق المزيد من ظروف المعالجة الموحدة وتقصير أوقات الدورة ، والتي يمكن أن تزيد من كفاءة الإنتاج. توفر قوارب SIC نتائج متسقة ومتكررة سواء تم استخدامها لتصنيع رقاقة أشباه الموصلات ، أو تصنيع الخلايا الشمسية ، أو غيرها من المواد المتقدمة في درجات حرارة مرتفعة.

باختصار ، تعد قوارب SIC الفرن الأفقي مكونًا رئيسيًا للمصنعين الذين يتطلعون إلى إنتاج رقائق بويفر عالية الأداء وطويلة الأمد ومقاومة للتلوث. له قوة ميكانيكية ، والاستقرار الحراري والختام الكيميائي الذي لا يتجزأ في تطبيقات الأفران الأفقية. من خلال اختيار قوارب كربيد السيليكون ، يمكن للمشغلين الاستفادة من التحكم في العملية بشكل أفضل ، والعائدات العليا ، وتقليل الانقطاعات التشغيلية بسبب الصيانة. بشكل عام ، يوفر إنتاجات أكثر كفاءة وفعالة من حيث التكلفة.