تعتبر قوارب كربيد السيليكون الأفقية Semicorex هي ناقلات الرقاقات الأفقية الأساسية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات المتطورة، والتي يتم تصنيعها بدقة من كربيد السيليكون عالي الجودة من فئة أشباه الموصلات. بفضل قدرات التصنيع الواسعة التي تم اختبارها عبر الزمن، يمكن لـ Semicorex أن توفر لعملائنا المتميزين قوارب أفقية من كربيد السيليكون متوافقة للغاية ومصممة خصيصًا.
سيميكوركس أفقيقوارب كربيد السيليكونيتم تشكيلها بشكل متكامل باستخدام تقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد ثم يتم تصنيعها من خلال التلبيد بدرجة حرارة عالية. تم تصميم هذه المكونات خصيصًا لتناسب أحجام الأفران الأفقية المتنوعة ذات درجات الحرارة العالية، ويتم تطبيقها على نطاق واسع لتأمين الاحتفاظ بالرقاقات بشكل محكم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الحرجة ذات درجات الحرارة العالية، بما في ذلك الانتشار والأكسدة وترسيب البخار الكيميائي.
| ملكيات |
قوارب كربيد السيليكون الأفقية Semicorex |
| الكثافة الظاهرية |
3.05 جم/سم3 |
| الجسيمات |
3 ميكرون |
| قوة الانحناء |
260 ميجا باسكال |
| قوة ضاغطة |
500 ميجا باسكال |
| معامل التمدد الحراري (درجة حرارة الغرفة إلى 1000 درجة مئوية) |
4.3*10-6 |
| نقاء |
5.38 جزء في المليون |
| معامل الشد |
354 جيجا |
| الموصلية الحرارية |
135 وات/(م·ك) |

تمنح قوة المواد وصلابتها التي لا مثيل لها قوارب Semicorex الأفقية من كربيد السيليكون قدرة دعم ممتازة، مما يمكنها من حمل رقائق متعددة بشكل ثابت في وقت واحد. من خلال التصنيع الدقيق للفتحات، يمكن لقوارب كربيد السيليكون الأفقية من Semicorex أن تثبت بقوة وتحتفظ برقائق أشباه الموصلات بشكل آمن. يضمن هيكل الفتحة المتباعدة بشكل متساوٍ أن تحافظ الرقائق على موضع ثابت طوال دورة المعالجة بأكملها، وبالتالي ضمان اتساق ودقة عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
بفضل مقاومتها الفائقة لدرجات الحرارة العالية ومقاومتها للتآكل، فإن قوارب كربيد السيليكون الأفقية Semicorex قادرة على تحمل بيئات التشغيل الصارمة، مثل الأجواء ذات درجة الحرارة العالية للأكسجين أو النيتروجين أو كلوريد الهيدروجين منخفض التركيز. يمكن لهذه الخصائص الاستثنائية للمواد أن تمنع بشكل فعال التآكل والأضرار الناجمة عن الغازات المسببة للتآكل ذات درجة الحرارة العالية، والتي تعمل على إطالة العمر التشغيلي للقوارب بشكل كبير.
تختلف قوارب سيميكوركس الأفقية من كربيد السيليكون عن قوارب الجرافيت التقليدية المطلية بكربيد السيليكون، ويتم تصنيعها من درجة أشباه الموصلات وعالية النقاء.كربيد السيليكون(99.999%) بمحتوى شوائب منخفض للغاية. يعمل هذا الاختيار من المواد المتميزة على التخلص من خطر إطلاق الغازات الملوثة أو تقشير الطلاء، حتى عند تعرضه لدرجات حرارة عالية وبيئات قاسية تسبب التآكل. بالإضافة إلى ذلك، يخضع كل قارب من قوارب كربيد السيليكون لدينا لعمليات تنظيف صارمة بالموجات فوق الصوتية قبل التعبئة والتغليف الفراغي، مما يضمن الامتثال لمعايير النظافة التي تتطلبها عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.