SIC SIC Microporous SiMicorex هو تشاك فراغ عالي الدقة مصمم للتعامل الآمن للرقاقة في عمليات أشباه الموصلات. اختر semicorex لحلولنا القابلة للتخصيص ، واختيار المواد المتفوقة ، والالتزام بالدقة ، وضمان الأداء الأمثل في احتياجات معالجة الرقاقة الخاصة بك.*
تشاك siC siC semicorex هو رقاقة تشاك الفراغ الحديثة مصممة للتعامل الدقيق للرقائق في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات. إنه يعمل كجزء أساسي من انتقاء ، ومستحضر ، ونقل WAFT عبر المراحل المختلفة من معالجة الرقاقة التي تشمل التنظيف ، والحفر ، والترسب ، والطباعة الحجرية. يضمن Chuck هذا الويفر قبضة واستقرار ممتازة ، مما يؤدي إلى عقد الرقاقة بشكل آمن خلال العمليات المعقدة.
يشبه SiC siC microporous semicorex بنية سطح microporous ؛ يتم تحضير هذا من كربيد السيليكون (SIC) ذي الجودة العالية ويضمن الاستقرار الحراري الممتاز ، والمقاومة الكيميائية ، والمتانة على المدى الطويل. إنه يتيح قوة شفط موحدة عبر سطح الرقاقة بأكمله ، مما يقلل من الأضرار التي لحقت بالرقاقة مع ضمان معالجة موثوقة خلال دورة المعالجة. تشمل المواد الأساسية المقدمة SUS430 من الفولاذ المقاوم للصدأ ، وسبائك الألومنيوم 6061 ، والسيراميك الكثيف ، والجرانيت ، والسيراميك السيليكون.
الميزات والفوائد
بنية سطح microporous: تم تصميم تشاك SIC بسطح microporous ، مما يعزز كفاءة امتصاص الفراغ. هذا يضمن أنه حتى رقائق حساسة يتم الاحتفاظ بها بشكل آمن في مكانها دون التسبب في تشويه أو تلف.
براعة المواد: مادة تشاك الأساسية قابلة للتخصيص لتناسب احتياجات العملية المحددة:
دقة التسطيح المتفوقة: يتميز تشاك بتسطيح استثنائي ، وهو أمر ضروري لمعالجة الويفر. تختلف دقة التسطيح للمواد الأساسية المختلفة على النحو التالي:
سبيكة الألومنيوم 6061: الأنسب للتطبيقات التي تتطلب تسطيحًا معتدلًا وخفيفة الوزن.
SUS430 Stainless Steel: يوفر تسطيحًا جيدًا ، وهو عادة ما يكون كافياً لمعظم عمليات أشباه الموصلات.
الألومينا الكثيفة (99 ٪ AL2O3): يوفر أعلى تسطيح ، وضمان عقد الويفر الدقة أثناء العمليات الحساسة.
السيراميك الجرانيت والكذا: توفر كلتا المادتين تسطيحًا كبيرًا واستقرارًا ميكانيكيًا ممتازًا ، مما يوفر دقة فائقة للتطلب من معالجة الويفر.
الوزن القابل للتخصيص: يعتمد وزن تشاك على المادة الأساسية المحددة:
سبيكة الألومنيوم 6061: الأخف وزناً ، مثالية للعمليات التي تتطلب تحديد موضع أو معالجة متكررة.
الجرانيت: يوفر وزنًا معتدلًا ، مما يوفر ثباتًا صلبًا دون كتلة مفرطة.
كربيد السيليكون والسيراميك الألومينا: أثقل المواد ، مما يوفر قوة فائقة وصرابة للتطبيقات الصعبة.
الدقة العالية والاستقرار: يضمن تشاك SIC أن يتم التعامل مع الرقاقات بدقة قصوى ، مما يوفر الحد الأدنى من تحول الرقاقة أو تشوه أثناء النقل من خلال مراحل المعالجة.
التطبيقات في مصنعة أشباه الموصلاتg
يستخدم تشاك SIC microporous في المقام الأول في تطبيقات معالجة الرقاقة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ، بما في ذلك:
تم تصميم SIC SIC Microporous semicorex مع الاحتياجات من تصنيع أشباه الموصلات الحديثة في الاعتبار. سواء كنت تحتاج إلى مواد خفيفة الوزن لسهولة إعادة التدوين أو الأثقل ، والمواد الأكثر صلابة للتعامل الدقيق ، يمكن تخصيص Chuck لدينا لتناسب مواصفاتك الدقيقة. مع مجموعة من خيارات المواد الأساسية ، يقدم كل منها فوائد فريدة لاحتياجات المعالجة المحددة ، ويوفر Semicorex منتجًا يجمع بين الدقة والتنوع والمتانة. بالإضافة إلى ذلك ، يضمن سطح Microporous أن يتم الاحتفاظ بالرقم بشكل آمن وموحد ، مما يقلل من خطر الضرر وضمان معالجة الجودة عبر كل عملية.
بالنسبة لمصنعي أشباه الموصلات الذين يبحثون عن حلول معالجة رقاقة موثوقة وقابلة للتخصيص وعالية الأداء ، يوفر تشاك SIC microporous شبه الدقيق توازنًا مثاليًا للدقة ومرونة المواد والأداء طويل الأمد. مع منتجاتنا ، يمكنك أن تطمئن إلى أن عملية معالجة الرقاقة ستكون فعالة وآمنة ودقيقة للغاية.