حلقات مدخل MOCVD

Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد على نطاق واسع من الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. تتمتع حلقات إدخال MOCVD الخاصة بنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تزود Semicorex بحلقات إدخال MOCVD المستخدمة في عمليات الترسيب ومعالجة الرقائق ، وهي مستقرة بالفعل بالنسبة لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي. تتميز حلقات مدخل MOCVD الخاصة بنا ببناء الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) ، والذي يوفر مقاومة فائقة للحرارة ، وحتى التوحيد الحراري لسمك ومقاومة طبقة epi المتسقة ، ومقاومة كيميائية دائمة. يوفر الطلاء الكريستالي الناعم SiC سطحًا نظيفًا وسلسًا ، وهو أمر بالغ الأهمية في التعامل معه حيث أن الرقاقات الأصلية تتصل بالمستقبل في العديد من النقاط عبر المنطقة بأكملها.

في Semicorex ، نركز على توفير حلقات إدخال MOCVD عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة ، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.

معلمات حلقات مدخل MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
هيكل بلوري	مرحلة FCC Î²
كثافة	ز / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	Î¼ م	2 ~ 10
نقاء كيميائي	%	99.99995
السعة الحرارية	J · kg-1 · K-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة فيليكسورال	MPa (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)	430
التمدد الحراري (CTE)	10-6 ك -1	4.5
توصيل حراري	(ث / م ك)	300