حلقات مدخل MOCVD

تعتبر شركة Semicorex شركة متخصصة في تصنيع وتوريد الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين على نطاق واسع. تتمتع حلقات مدخل MOCVD الخاصة بنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تقوم شركة Semicorex بتزويد حلقات مدخل MOCVD المستخدمة في عملية الترسيب ومعالجة الرقاقات، وهي مستقرة حقًا في عمليات RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي. تتميز حلقات مدخل MOCVD لدينا ببناء جرافيت مطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء، والذي يوفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا لسماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة، ومقاومة كيميائية متينة. يوفر الطلاء البلوري الدقيق من SiC سطحًا نظيفًا وناعمًا، وهو أمر بالغ الأهمية للتعامل نظرًا لأن الرقاقات الأصلية تتصل بالمستقبل في العديد من النقاط عبر المنطقة بأكملها.

في Semicorex، نركز على توفير حلقات مدخل MOCVD عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل، ونقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.

معلمات حلقات مدخل MOCVD

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300