Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد على نطاق واسع من الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. تتمتع MOCVD Inlet Seal Ring بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.
حلقة ختم مدخل MOCVD لطلاء كربيد السيليكون من Semicorex عبارة عن جرافيت عالي النقاء مغطى بكربيد السيليكون ، يستخدم في عملية معالجة الرقاقة. MOCVD Inlet Seal Ring المطلية بـ SiC لديها مقاومة عالية للحرارة والتآكل ، والتي تتمتع باستقرار كبير في البيئة القاسية.
في Semicorex ، نركز على توفير MOCVD Inlet Seal Ring عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة ، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات حلقة ختم مدخل MOCVD
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حلقة الختم الداخلية MOCVD
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.