رؤوس الدش في النقش

تُعد رؤوس الدش من كربيد السيليكون (SiC) مكونات رئيسية في معدات تصنيع أشباه الموصلات، وتلعب دورًا حاسمًا في العمليات المتقدمة مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسيب الطبقة الذرية (ALD).

الوظيفة الأساسية لرأس دش كربيد السيليكونهو توزيع الغازات المتفاعلة بالتساوي عبر سطح الرقاقة، مما يضمن طبقات مترسبة موحدة ومتسقة. في عمليات CVD وALD، يعد التوزيع الموحد للغازات المتفاعلة أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق أغشية رقيقة عالية الجودة. يتيح الهيكل الفريد وخصائص المواد لرؤوس الدش المصنوعة من SiC توزيعًا فعالاً للغاز وتدفقًا موحدًا للغاز، مما يلبي المتطلبات الصارمة لجودة الغشاء والأداء في تصنيع أشباه الموصلات.

أثناء عملية تفاعل الرقاقة، يتم تغطية سطح رأس الدش بكثافة بمسام صغيرة (قطر المسام 0.2-6 مم). من خلال بنية المسام ومسار الغاز المصممين بدقة، يتم تمرير غازات المعالجة المتخصصة عبر آلاف الثقوب الصغيرة في لوحة توزيع الغاز ويتم ترسيبها بالتساوي على سطح الرقاقة. وهذا يضمن طبقات فيلم موحدة ومتسقة للغاية عبر مناطق مختلفة من الرقاقة. لذلك، بالإضافة إلى المتطلبات العالية للغاية للنظافة ومقاومة التآكل، تفرض لوحة توزيع الغاز أيضًا متطلبات صارمة على اتساق قطر الفتحة ووجود نتوءات على الجدران الداخلية للفتحات. سيؤدي التسامح المفرط والانحراف المعياري لحجم الفتحة، أو وجود نتوءات على أي جدار داخلي، إلى سمك غير متساوي للفيلم المترسب، مما يؤثر بشكل مباشر على إنتاجية عملية المعدات. في العمليات المدعومة بالبلازما (مثل PECVD والحفر الجاف)، يولد رأس الدش، كجزء من القطب الكهربائي، مجالًا كهربائيًا موحدًا باستخدام مصدر طاقة RF، مما يعزز توزيع البلازما الموحد وبالتالي تحسين تماثل الحفر أو الترسيب.

تُستخدم رؤوس الدش SiC على نطاق واسع في تصنيع الدوائر المتكاملة والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) وأشباه موصلات الطاقة ومجالات أخرى. تتجلى مزايا أدائها بشكل خاص في عقد العمليات المتقدمة التي تتطلب ترسبًا عالي الدقة، مثل عمليات 7 نانومتر و5 نانومتر وما دون ذلك. إنها توفر توزيعًا مستقرًا وموحدًا للغاز، مما يضمن توحيد واتساق الطبقة المترسبة، وبالتالي تحسين أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات.

عروض Semicorex مخصصةالأمراض القلبية الوعائية كربيدوالسيليكون رؤوس الدشبناء على احتياجات العملاء. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com