حلقة التركيز لمعالجة البلازما

تتميز حلقة التركيز الخاصة بمعالجة البلازما الخاصة بنا بأنها مستقرة للغاية بالنسبة إلى RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي، مما يجعلها خيارًا مثاليًا للاستخدام في غرف حفر البلازما (أو الحفر الجاف). تم تصميم حلقات التركيز أو حلقات الحافة الخاصة بنا لتحسين تجانس الحفر حول حافة الرقاقة أو محيطها، وذلك لتقليل التلوث والصيانة غير المجدولة.

طلاء SiC الخاص بنا عبارة عن طلاء كربيد السيليكون الكثيف والمقاوم للاهتراء مع خصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). وهذا يضمن أن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تتمتع بجودة ومتانة فائقة، مما يجعلها خيارًا موثوقًا لاحتياجات معالجة حفر البلازما الخاصة بك.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلقة التركيز الخاصة بمعالجة البلازما.

معلمات حلقة تركيز معالجة البلازما

مميزات حلقة التركيز لمعالجة البلازما

- طلاءات كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.

- عزل حراري مصنوع من الكربون الصلب المنقى عالي الأداء.

- سخان ولوحة الكربون / الكربون المركب. - تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- جرافيت عالي النقاء وطلاء SiC لمقاومة الثقب وعمر أطول