حلقة تركيز معالجة البلازما

تعتبر حلقة تركيز معالجة البلازما الخاصة بنا مستقرة للغاية بالنسبة إلى RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي ، مما يجعلها خيارًا مثاليًا للاستخدام في غرف حفر البلازما (أو الحفر الجاف). صُممت لتحسين اتساق الحفر حول حافة الرقاقة أو المحيط ، حلقات التركيز أو حلقات الحافة مصممة لتقليل التلوث والصيانة غير المجدولة.

طلاء SiC الخاص بنا عبارة عن طلاء كربيد السيليكون كثيف ومقاوم للاهتراء مع خصائص مقاومة للتآكل والحرارة عالية بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). هذا يضمن أن حلقات تركيز SiC الخاصة بنا تتمتع بجودة ومتانة فائقة ، مما يجعلها خيارًا موثوقًا به لاحتياجات معالجة حفر البلازما.

اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حلقة التركيز الخاصة بمعالجة البلازما.

معلمات حلقة تركيز معالجة البلازما

ميزات حلقة تركيز معالجة البلازما

- طلاء كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.

- عزل حراري مصنوع من الكربون الصلب النقي عالي الأداء.

- سخان وصفيحة مركبة من الكربون / الكربون. - تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.

- طلاء عالي النقاء من الجرافيت و SiC لمقاومة الثقب وعمر أطول