تشاك سكاك مسامي

SEMICOREX مسامي SIC Chuck هو جزء من السيراميك الذي تم تجميعه بدقة من أجل التعامل الآمن والفعال لركائز الرقاقة لتطبيقات أشباه الموصلات من خلال خطوات العملية مثل التفتيش والاختبار والطباعة الحجرية. يتم تصنيع تشاك من السيراميك السيليكون المصنوع من السيليكون (SIC). يتمتع SIC بالقوة الميكانيكية ، والمقاومة الكيميائية ، وخصائص الاستقرار الحراري اللازمة لبيئات تصنيع أشباه الموصلات المتطورة.

من الخصائص الأساسية لتشاك SIC المسامية هي البنية المجهرية الفريدة ، والتي تظهر مسامية 35 ٪ -40 ٪. مع مسامية تشاك التي تسيطر عليها بإحكام ، يسمح التصميم المفرط بالفراغ بالتوزيع بالتساوي عبر تشاك يولد دعمًا ثابتًا غير مستقر وغير الاتصال لركائز رقائق حساسة: السيليكون أو GAN ، وغيرها من الموصلات المركبة.  يتجنب وضع شفط الفراغ كل من تلوث الجسيمات والأضرار الميكانيكية ، وبالتالي الحفاظ على سلامة الويفر أثناء العملية.

الجسم الخزفي من تشاك هو في المقام الأول من طهارة الطهارة ، مع السيراميك الأخرى ، مثل الألومينا (AL2O3) ، والتي يحتمل أن تستخدم لعدد محدود من الطبقات الوظيفية اعتمادا على التطبيق. يسمح البحث وتطوير المواد بإدارة حجم المسام وتوزيعه لتصميم تدفق الهواء والقوة القابضة اعتمادًا على أحجام الرقاقة وظروف العملية. إذا كان من المهم التحكم في الفراغ على رقائق أرق ، فسيتم دمج حجم المسام الأصغر. لمعدلات التدفق الأسرع عند الاقتضاء ، سيتم استخدام حجم المسام الأكبر.

يظهر chucks sic المسامية تباين اللون كنتيجة لأحجام المسام المتغيرة ، والتراكيب الخزفية ، وظروف إطلاق النار. تميل الطبقات SIC إلى أن تكون سوداء أو رمادية داكنة حيث أن لون كربيد السيليكون إما رمادي أو أسود ، ولكن يميل الخنازير ذات المحتوى الكبير للألومينا إلى أن تكون أبيضًا في اللون. ليس للفروق في اللون أي تأثير على أداء المنتج وتمثل فقط الخصائص المهندسة التي تم إنشاؤها لتطبيقات محددة للامتثال لاحتياجات العملاء المحددة.

في أدوات معالجة الرقاقة المتطورة ، يعد الاستقرار الحراري والختام الكيميائي أهم الميزتين. يوفر كربيد السيليكون مقاومة ممتازة لغازات التآكل وركوب الدراجات الحرارية. يعمل تشاك SIC المسامي بنجاح في غرف الفراغ وأدوات حفر البلازما ، ويستمر في أداء درجات حرارة سريعة التغير. تضمن قدرتهم على الحفاظ على الاستقرار الباطني للتشاك أن يبقى الرقاقة في نفس الموقع ، على الرغم من أن متطلبات الدقة يمكن أن تكون أقل من الميكرون الفرعي اعتمادًا على العملية التي تساهم في الاستقرار الأبعاد ، مما يضمن الدقة.

يتم صنع خنازير SIC التي يسهل اختراقها باستخدام إجراءات تشكيل وتلبيس مصرح بها والتي توفر مسامية موحدة ، قوة انثناء عالية ، وتوسع حراري منخفض. يتم تفتيش كل تشاك لهيكل المسام والتسطيح وأداء الفراغ لضمان منتج يمكن الاعتماد عليه وقابل للتكرار. تتوفر التصميمات المخصصة أيضًا لاستيعاب أحجام رقاقة محددة ومتطلبات تكامل النظام مثل قنوات تدفق الغاز الخلفية أو ميزات التثبيت.

في الختام ، يعد تشاك SIC المسامي نظام دعم الركيزة عالي الموثوقية والذي تم تصميمه بعناية للعمل مع متطلبات معالجة الرقاقة الدقيقة. بفضل القدرة على عقد الفراغ العالي ، وهيكل مسام قابل للتخصيص ، واستقرار مادي رائع ، فهو منتج لا غنى عنه في خطوط تصنيع أشباه الموصلات اليوم.