تشاك الفراغ المسامي

يمثل chuck siC siC المسامي semicorex حل معالجة يهدف إلى تحقيق وضع دقيق ومستقر للرقائق خلال جميع مراحل معالجة أشباه الموصلات. هذا الفراغ يحمل قبضة ممتازة لتطبيقات معالجة الرقاقة وتطبيقات محاذاة الركيزة ، وبالتالي تعزيز الموثوقية والأداء. تُعزى خيارات المواد الأساسية - Sus430 ، وسبائك الألومنيوم 6061 ، والسيراميك الكثيف ، والجرانيت ، والسيراميك السيليكون - مرونة المستخدم لاختيار المادة المثلى وفقًا للمتطلبات الفردية في الأداء الحراري أو الخصائص الميكانيكية أو الوزن.

اختيار مادي أفضل: يمكن تغيير الجزء السفلي من فراغ SIC المسامي بمواد مختلفة لتناسب احتياجات مختلفة:

• SUS430: خيار رخيص يقاوم الصدأ بشكل جيد للاستخدامات الشائعة.
• سبيكة الألومنيوم 6061: يعطي مزيجًا من القوة والوزن الخفيف وقابلية العمل الرائعة ، مما يجعله جيدًا للتعامل مع الويفر المنتظم.
• السيراميك الكثيف للألومينا (99 ٪ AL2O3): يوفر استقرار حراري ممتاز وارتفاع صلابة ، مناسبة للتطبيقات ذات درجة الحرارة العالية أو الدقيقة.
• الجرانيت: معروف بالتسطيح والاستقرار الاستثنائي ، يوفر الجرانيت تمدد حراريًا منخفضًا ، وهو مثالي للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية.
• السيراميك السيليكون كربيد: المعروف عن الموصلية الحرارية العالية ، والمقاومة الكيميائية ، والمتانة ، SIC مثالية للبيئات عالية الأداء حيث يتم مواجهة الظروف القصوى.

تسطيح عالي الدقة: يضمن فراغ SIC المسامي تسطيحًا فائقًا ، مع دقة تتراوح بناءً على المواد المستخدمة. الترتيب المادي من أعلى إلى أدنى دقة تسطيح هو:

الجرانيت والسيليكون كربيد السيراميك: توفر كلتا المادتين تسطيحًا عالي الدقة ، مما يضمن استقرار الويفر حتى في بيئات المعالجة الأكثر تطلبًا.

الألومينا الكثيفة (99 ٪ AL2O3): تسطيح أقل قليلاً مقارنة بالجرانيت و SIC ، ولكن لا يزال يوفر دقة جيدة لتطبيقات أشباه الموصلات العامة.

سبيكة الألومنيوم 6061 و SUS430: توفير دقة تسطيح أقل قليلاً ولكن لا تزال موثوقة للغاية للتعامل مع الرقاقة في التطبيقات الأقل تطلبًا.

اختلافات الوزن لتلبية الاحتياجات المحددة: يتيح Chuck الفراغ المسامي للمستخدمين الاختيار من بين مجموعة متنوعة من خيارات المواد بناءً على متطلبات الوزن:

سبيكة الألومنيوم 6061: أخف اختيار المواد ، مما يوفر سهلة التعامل والنقل.

الجرانيت: مادة أساسية أثقل توفر ثباتًا كبيرًا ويقلل من الاهتزازات أثناء المعالجة.

سيليكون كربيد سيراميك: لديه وزن معتدل ، ويوفر توازنًا من المتانة والتوصيل الحراري.

السيراميك الكثيف للألومينا: الأثقل خيار ، مثالي للتطبيقات التي يتم فيها إعطاء الأولوية للاستقرار والمقاومة الحرارية العالية.

المتانة العالية والأداء: تم تصميم فراغ SIC المسامي من أجل الأداء طويل الأمد ، قادرًا على معاداة اختلافات في درجة الحرارة المتطرفة والارتداء المرتبط بمعالجة أشباه الموصلات. يعد متغير السيراميك السيليكون مفيد بشكل خاص للبيئات ذات درجة حرارة عالية وعدوانية كيميائيًا بسبب مقاومته الاستثنائية للتوسع والتآكل الحراري.

الحلول الفعالة من حيث التكلفة: مع خيارات المواد المتعددة ، يوفر فراغ SIC المسامي حلًا فعالًا من حيث التكلفة يمكن تصميمه لميزانيات ومتطلبات التطبيق المختلفة. بالنسبة للتطبيقات العامة ، فإن سبائك الألومنيوم و SUS430 فعالة من حيث التكلفة مع عدم تقديم أداء مرضي. للحصول على المزيد من البيئات الصعبة ، توفر خيارات الجرانيت أو السيراميك الأداء والمتانة المحسنة.

التطبيقات:

يستخدم Chuck SIC المسامي في المقام الأول في صناعة أشباه الموصلات لمعالجة الويفر ، بما في ذلك في عمليات مثل:

• رقاقة التقطيع والقطع
• التصنيع الضوئي
• نمو MOCVD و CVD Epitaxy
• أيون زرع
• عمليات الأكسدة والانتشار

يبرز Chuck SiC SiC المسامي من Semicorex لدقة وتنوعه ومتانة. سواء كنت تحتاج إلى حلول خفيفة الوزن للتعامل مع عام أو مواد متقدمة لعمليات أشباه الموصلات عالية الأداء ، فإن منتجنا يقدم مجموعة واسعة من الخيارات لتلبية احتياجاتك. تم تصنيعها مع أعلى مستويات الجودة ، وتضمن خنازيرنا الفراغ معالجة رقاقة موثوقة وفعالة لمختلف التطبيقات ، مما يوفر نتائج متسقة في كل من العمليات القياسية والمتخصصة.

بالنسبة للصناعات التي تكون فيها استقرار الرقاقة والتعامل الدقيق أمرًا بالغ الأهمية ، يوفر فراغ SIC المسامي حلاً مثاليًا. من خلال اختيار المواد ، ودقة عالية ، ومتانة فائقة ، فإن هذا هو الخيار الأمثل لمجموعة واسعة من عمليات أشباه الموصلات.