خراطيش فراغ مسامية SiC

Semicorex مسامية كربيد السيليكونخراطيش فراغهي المكونات التي لا غنى عنها، والتي يمكن استخدامها على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة، مثل ترقق الرقاقة، والتقطيع، والطحن، والتلميع، والطباعة الحجرية الضوئية، والنقش. منصة الامتصاص الخاصة بها مصنوعة من لوحة سيراميك SiC مسامية مع العديد من المسام الميكرونية الموزعة بالتساوي. بفضل قطر المسام المتسق ومعدل الفتح الاستثنائي، توفر خراطيش التفريغ المسامية المصنوعة من SiC من Semicorex مسارًا سلسًا للغاز للإخلاء الفراغي. أثناء التشغيل، يتم توليد الضغط السلبي المستقر والموحد بين ظرف الظرف والرقاقة، مما يسمح بتثبيت فراغي عالي الكفاءة وإطلاق رقائق أشباه الموصلات.

مزايا خراطيش فراغ SiC المسامية من Semicorex 

1. دقة معالجة استثنائية

إن رقائق أشباه الموصلات التي تتم معالجتها في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة رفيعة للغاية، لذا فإن الانحناء الطفيف أو الاهتزاز أو الضغط المحلي غير المتساوي قد يؤدي إلى كسر الرقاقة والتزييف وانخفاض الدقة في العمليات الحرجة مثل الطباعة الحجرية. سيميكوركسكربيد مساميةتتم معالجة ظرف التفريغ من خلال الطحن والتلميع عالي الدقة، مما يحقق خشونة سطح مثالية تبلغ Ra <0.1 ميكرومتر. وهذا يمكّن خراطيش التفريغ المسامية SiC من Semicorex من توفير سطح تشغيلي محسّن لتصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة.

2. نظافة عالية ومقاومة عالية للتآكل

للوفاء بمعايير نظافة أشباه الموصلات الصارمة بشكل كامل، تقوم شركة Semicorex بتصنيع خراطيش مفرغة مسامية من SiC بمواد خام من كربيد السيليكون عالية النقاء عبر تلبيد بدرجة حرارة عالية. وهذا يضمن أن الطبطبات خالية من تساقط الجسيمات والتلوث المعدني القابل للانتقال. من خلال الاستفادة من الاستقرار الكيميائي الممتاز لـ SiC، فإن ظرف التفريغ المسامي من SiC من Semicorex قادر على تحمل بيئات التآكل القاسية وعدم توليد أي منتجات ثانوية إضافية، مما يجعلها مناسبة للغاية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات النظيفة عالية الجودة.

3. متانة ممتازة واستقرار طويل الأمد

يجب أن تتحمل ظرف التفريغ المستخدمة في خطوط الإنتاج الآلاف من دورات الامتزاز والإطلاق، بالإضافة إلى تقلبات درجات الحرارة على المدى الطويل. وهذا يفرض متطلبات عالية للغاية على الأداء المادي لخراطيش التفريغ. تتميز ظرف التفريغ المسامي Semicorex SiC بصلابة المواد المتميزة ومقاومة التآكل، مع تمدد حراري مستقر. إنها لا تظهر أي زحف أو تدهور في الأداء في ظروف درجات الحرارة العالية، مما يزيد من عمر الخدمة بشكل كبير ويقلل من صيانة المكونات وتكرار الاستبدال.