أنبوب العملية لأفران الانتشار

عادةً ما يتم تصنيع أنبوب عملية Semicorex لأفران الانتشار من SiC عالي النقاء مع طلاء CVD SiC. يتم اختيار هذه المواد لاستقرارها الحراري الممتاز ومقاومتها للغازات المسببة للتآكل ودرجات الحرارة المرتفعة.

أنبوب المعالجة Semicorex لأفران الانتشار هو أسطواني الشكل، ذو نهاية مغلقة ونهاية مفتوحة. يتم إدخاله في فرن الانتشار، مما يشكل غرفة مغلقة حيث تتم عملية الانتشار. تم تصميم الأنبوب بعناية لمنع أي تسرب للغازات والحفاظ على جو محكم داخل الفرن.

يلعب أنبوب المعالجة الخاص بأفران الانتشار دورًا حاسمًا في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. إنه يوفر بيئة خاضعة للرقابة لعمليات الانتشار، مما يضمن ملفات تعريف المنشطات الموحدة والتحكم الدقيق في معلمات العملية. يساعد استخدام مواد عالية النقاء واعتبارات التصميم الدقيقة في الحفاظ على سلامة أنبوب العملية وضمان إنتاج رقائق أشباه الموصلات عالية الجودة.