تم تصميم جهاز الاستقبال المغطى بكربيد السيليكون من Semicorex للبلازما المقترنة حثيًا (ICP) خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل النضوج وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفسار