البلازما المقترنة حثيًا (ICP)

تم تصميم جهاز الاستقبال المغطى بكربيد السيليكون من Semicorex للبلازما المقترنة حثيًا (ICP) خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل النضوج وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.

إرسال استفسار

وصف المنتج

هل تحتاج إلى حامل رقائق يمكنه التعامل مع البيئات الكيميائية القاسية ذات درجات الحرارة العالية؟ لا تنظر إلى أبعد من مستقبل سيميكوريكس المطلي بكربيد السيليكون للبلازما المقترنة حثيًا (ICP). تتميز ناقلاتنا بطبقة كريستال SiC الدقيقة التي توفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مستقبل SiC الخاص بنا للبلازما المقترنة حثيًا (ICP).

معلمات المستقبِل للبلازما المقترنة حثيًا (ICP)

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300