- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
بيت
>
منتجات > كربيد السيليكون المطلي > حامل النقش لبرنامج المقارنات الدولية > البلازما المقترنة بالحث (ICP)
البلازما المقترنة بالحث (ICP)
تم تصميم المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون من Semicorex للبلازما المقترنة بالحث (ICP) خصيصًا لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، تضمن شركات النقل لدينا التشكيلات الحرارية المتساوية ، وأنماط تدفق الغاز الرقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
إرسال استفسار
وصف المنتج
هل تحتاج إلى حامل رقاقة يمكنه التعامل مع البيئات الكيميائية القاسية ذات درجة الحرارة العالية؟ لا تنظر إلى أبعد من محرض سيميكوركس المغطى بكربيد السيليكون للبلازما المقترنة بالحث (ICP). تتميز ناقلاتنا بطبقة كريستالية من SiC التي توفر مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حساس SiC للبلازما المقترنة بالحث (ICP).
معلمات المستقبِل للبلازما المقترنة بالحث (ICP)
|
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
|
خصائص SiC-CVD |
||
|
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
|
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
|
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
|
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
|
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
|
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
|
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
|
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
|
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
|
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون للبلازما المقترنة بالحث (ICP)
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب
الكلمات الساخنة: بلازما مقترنة حثيًا (ICP) ، الصين ، مصنعون ، موردون ، مصنع ، مخصص ، بالجملة ، متقدم ، متين
علامة المنتج
الفئة ذات الصلة
حامل البرميل
ناقل النقش PSS
حامل النقش لبرنامج المقارنات الدولية
RTP Carrier
مستشعر MOCVD
أحادي البلورية السيليكون
الصمام الفوقي حساس
SiC Epitaxy
GaN على SiC Epitaxy
سخان ويفر
مستحضر الفطيرة
سي إيبيتاكسي
الأجزاء الكهروضوئية
إرسال استفسار
لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
