يعد حامل الرقاقة النقش ICP من Semicorex الحل الأمثل لعمليات معالجة الرقاقة ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.
اقرأ أكثرإرسال استفسار